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Ein elektrostatischer Feinstrahlkondensor

  • Eberhard Hahn

Zusammenfassung

Zur Erzeugung kleiner Beleuchtungsflecke, wie sie in der Elektronenmikroskopie beispielsweise zur Objektschonung oder zur Kleinfeldbeugung verlangt werden, sind bisher Doppelkondensoren vorwiegend magnetischer Bauart verwendet worden. Das zumeist mit einem Trioden-system erzeugte Strahlenbündel wird von dem ersten Kondensor mit starker Brechkraft in einem Brennfleck von etwa 1 µ im Durchmesser gesammelt, der von dem zweiten Kondensor mit schwacher Brechkraft auf die entfernt liegende Objektebene etwas vergrößert abgebildet wird (1). Der Strahlerzeuger (Triode) ist in erster Linie Strahlbeschleuniger. Seine über die mit der Strahlspannung anwachsende Richtwirkung hinausgehende Fokussierungseigenschaft hat nur untergeordnete Bedeutung. Hierin kann man einen Mangel sehen und die Frage stellen, ob es gelingt, ohne Kondensoren mit einem statt dessen geeignet ausgebildeten Beschleunigungsfeld allein Brennflecke von der Größenordnung 1,µ zu erzeugen. Um eine Einsicht in die erforderliche Elektrodenverteilung und Dimensionierung zu bekommen, haben wir im wesentlichen zwei Probleme rechnerisch untersucht:

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Literatur

  1. 1.
    Ruska, E., u. O. Wolff: Z. wiss. Mikrosk. 62, 465 (1954/55).Google Scholar
  2. 2.
    Bertram, S.: J. appl. Physics 13, 496 (1942).ADSCrossRefzbMATHMathSciNetGoogle Scholar
  3. 3.
    Hahn, E.: Optik 15, 500 (1958).Google Scholar
  4. 4.
    Hahn, E.,Jenaer Jb. 1958 I, 184. VEB Gustav Fischer Verlag, Jena.Google Scholar

Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1960

Authors and Affiliations

  • Eberhard Hahn
    • 1
  1. 1.JenaDeutschland

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