Advertisement

Verhandlungen pp 403-408 | Cite as

Ionenätzung im Elektronendiffraktographen

  • M. Gribi
  • L. Wegmann
Chapter

Zusammenfassung

Die Ionenätzung als Methode der kontinuierlichen Abtragung von Oberflächenmaterial im Elektronendiffraktographen ist seit einiger Zeit bekannt. Gegenstand intensiver, zum Teil noch nicht abgeschlossener Untersuchungen sind die Betriebsbedingungen, welche bei der Ionenätzung eingehalten werden müssen, damit die Struktur der noch nicht abgetragenen Schichten nicht gestört wird (1). Der vorliegende Artikel beschreibt die apparative Ausrüstung eines Elektronendiffraktographen, welche sowohl für die Untersuchung des Mechanismus der Ionenätzung als auch für deren Anwendung bei Strukturuntersuchungen benötigt wird. Die Ionenätzvorrichtung zum Elektronendiffraktographen KD 3 der Firma Trüb Täuber in Zürich und einige Zusatzeinrichtungen werden detailliert beschrieben.
Abb. 1.

Schnitt durch Ionenätzvorrichtung 1–4,5 kV Ionenbeschleunigungsspannung.1 wassergekühlte Anode, 2 Kathode, 3 Anodenisolator, 4 Hochspannungs- und Kühlwasserzuführung, 5 Gaseinlaβventil. 6 Mechanismus f?r Objektiiberstreichung, 7 Beugungskammer

Preview

Unable to display preview. Download preview PDF.

Unable to display preview. Download preview PDF.

Literatur

  1. 1.
    Steinemann, S., et J. J.Trillat: Seite 401 dieses Bandes.Google Scholar
  2. 2.
    — Experientia (Basel) 13, 417 (1957).Google Scholar
  3. 3.
    Gribi, M., u. L. Wegmann: Ionenätzung als Materialuntersuchungsmethode im Elektronendiffraktographen. Dechema-Monogr. Frankfurt 1958 (im Druck).Google Scholar
  4. 4.
    Moore, W. J., C. D. O’briain and Amelie Linder: Ann. N. Y. Acad. Sci. 67, 600 (1957).ADSCrossRefGoogle Scholar
  5. Vgl. auch E., Bauer: Elektronenbeugung 1958. Monchen: Verlag Moderne Industrie.Google Scholar
  6. 6.
    Gribi, M., M. Txürkauf, W. Villiger u. L. Wegmann: Ein 70 kV-Elektronenmikroskop mit kalter Kathode und elektrostatischem Objektiv. Optik 16, 65 (1959)Google Scholar

Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1960

Authors and Affiliations

  • M. Gribi
    • 1
  • L. Wegmann
    • 1
  1. 1.Abteilung für Elektronengeräte der Firma TrübTäuber & Co. AGZürichSchweiz

Personalised recommendations