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Verhandlungen pp 350-352 | Cite as

Modellversuche zur Beugung und Abbildung gestörter Gitter

  • H. Boersch
  • K. Klatt

Zusammenfassung

In der Elektronenmikroskopie werden jetzt Gitter mit Störungen abgebildet. Hierbei ist unbekannt, wie sich die Gitterstörungen im Beugungsbild auswirken und welche Teile des Beugungsbildes zur Abbildung der Gitterstörung notwendig sind. Es wurden daher Modellversuche an optischen Strichgittern mit definierter Störung durchgeführt. Die Gitter bestanden aus zwei Teilgittern der gleichen Gitterkonstante d, Spaltbreite z, Stegbreite d-z, aber mit verschiedenen Periodenzahlen N bzw. M. Die Teilgitter waren durch eine Lücke der Breite d min voneinandr getrennt (vgl. Abb. 1). Dieses Gitter wurde mit parallelem und monochromatischem Licht durchstrahlt und mit einem Objektiv abgebildet. Außerdem wurde in der Brennebene der Objektivs das Fraunhofersche Beugungsbild aufgenommen.

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Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1960

Authors and Affiliations

  • H. Boersch
    • 1
  • K. Klatt
    • 1
  1. 1.I. Physikalisches InstitutTechnischen Universität BerlinDeutschland

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