Advertisement

Scheibenreinigung

  • Ulrich Hilleringmann
Chapter

Zusammenfassung

Nach einer Klassifizierung möglicher Verunreinigungen und deren Auswirkungen auf die Ausbeute folgen Reinigungstechniken. Neben der mechanischen Reinigung werden chemische Lösungen zur Beseitigung der Partikel bzw. Störschichten diskutiert. Eine Reinigungssequenz verdeutlicht den erforderlichen zeitlichen Aufwand.

Literatur

  1. 1.
    Schumicki, G., Seegebrecht, P.: Prozeßtechnologie, Reihe Mikroelektronik. Springer, Berlin (1991)Google Scholar

Copyright information

© Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, ein Teil von Springer Nature 2019

Authors and Affiliations

  • Ulrich Hilleringmann
    • 1
  1. 1.Fakultät für Elektrotechnik, Informatik und MathematikUniversität PaderbornPaderbornDeutschland

Personalised recommendations