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Lithografie

  • Ulrich Hilleringmann
Chapter

Zusammenfassung

Ausgehend von der Maskenherstellung und dem Aufbau von Fotolacken wird der Prozess der Fotolithografie erläutert. Dabei werden optische Belichtungsverfahren hinsichtlich ihrer Auflösung und Defektdichte vergleichend diskutiert und alternative Techniken gegenübergestellt. Linienweiten- und Justiergenauigkeitskontrolle sowie das Ablösen des Fotolackes runden das Kapitel ab.

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Copyright information

© Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, ein Teil von Springer Nature 2019

Authors and Affiliations

  • Ulrich Hilleringmann
    • 1
  1. 1.Fakultät für Elektrotechnik, Informatik und MathematikUniversität PaderbornPaderbornDeutschland

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