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Oxidation des Siliziums

  • Ulrich Hilleringmann
Chapter

Zusammenfassung

Siliziumdioxid lässt sich durch thermische Oxidation in einer Sauerstoff enthaltenden Atmosphäre erzeugen. Das Schichtwachstum wird mit einem einfachen Modell über einen linearen und einen parabolischen Anteil beschrieben. Es ist sowohl für die trockene als auch für die feuchte Oxidation gültig. Auch Abscheideverfahren für Siliziumdioxid werden angesprochen.

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Copyright information

© Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, ein Teil von Springer Nature 2019

Authors and Affiliations

  • Ulrich Hilleringmann
    • 1
  1. 1.Fakultät für Elektrotechnik, Informatik und MathematikUniversität PaderbornPaderbornDeutschland

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