Advertisement

Einleitung

  • Ulrich Hilleringmann
Chapter

Zusammenfassung

In der Einleitung wird die Entwicklung der Mikroelektronik mit der Planartechnik als Grundlage vorgestellt. Ganzflächige Schichtabscheidungen lassen sich mithilfe der Fotolithografie und einer Ätztechnik in lokale Veränderungen der Oberfläche transformieren. Dabei wird auf die Bedeutung der im Folgenden behandelten Einzelprozesse hingewiesen.

Literatur

Copyright information

© Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, ein Teil von Springer Nature 2019

Authors and Affiliations

  • Ulrich Hilleringmann
    • 1
  1. 1.Fakultät für Elektrotechnik, Informatik und MathematikUniversität PaderbornPaderbornDeutschland

Personalised recommendations