Advertisement

Glimmentladungsmassenspektrometrie

  • D. Stüwer
Chapter
Part of the Analytiker-Taschenbuch book series (ANALYTIKERTB, volume 9)

Zusammenfassung

Die Forschung und Entwicklung im Bereich der massenspektrometrischen Elementanalyse ist derzeit von raschem Fortschritt und großer Euphorie geprägt. In der Tat hat es wesentliche Verbesserungen hinsichtlich der Betriebseigenschaften von Ionenquellen, der Verfügbarkeit kommerzieller Geräte und der Vielseitigkeit und Leistungsfähigkeit bei analytischen Anwendungen gegeben [1]. Die breiteste Akzeptanz hat dabei die Massenspektrometrie mit dem induktiv gekoppelten Hochfrequenzplasma als Ionenquelle (ICP/MS — Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry) gefunden, die sieh insbesondere für die Lösungsanalyse vielerorts als Arbeitspferd bewähren konnte. Für die Oberflächen- und Tiefenprofilanalyse vermag die Massenspektrometrie mit zerstäubten Neutralteilchen (SNMS — Sputtered Neutrals Mass Spectrometry) durch ihre quantitativen Möglichkeiten bei gleichzeitig hoher Tiefenauflösung zu überzeugen, wenngleich die Akzeptanz noch eher zögernd ist. Ähnliches gilt bisher auch noch für die Glimmentladungsmassenspektrometrie (GDMS — Glow Discharge Mass Spectrometry), die auf der Skala der modernen massenspektrometrischen Analysentechniken den Bereich der direkten Analyse leitender und halbleitender Festkörper mit hohem Nachweisvermögen abdeckt.

Preview

Unable to display preview. Download preview PDF.

Unable to display preview. Download preview PDF.

Literatur

  1. 1.
    Adams, F., Gijbels, R., Van Grieken, R. (1988): Inorganic Mass Spectrometry. Wiley, New YorkGoogle Scholar
  2. 2.
    Heumann, K. G. (1988) in: [1] p. 301Google Scholar
  3. 3.
    Ramendik, G., Verlinden, J., Gijbels, R. (1988) in: [1] p. 17Google Scholar
  4. 4.
    Oechsner, H. (1988): Scann. Microsc. 2:9Google Scholar
  5. 5.
    Harrison, W. W., Magee, C. W. (1974): Anal. Chem. 46:461CrossRefGoogle Scholar
  6. 6.
    Bentz, B. L., Bruhn, C. G., Harrison, W. W. (1978): Int. J. Mass Spec-trom. Ion Phys. 28:409CrossRefGoogle Scholar
  7. 7.
    Caroli, S. (1987): J. Anal. At. Spectr. 2:661CrossRefGoogle Scholar
  8. 8.
    Stuart, R. V., Wehner, G. K. (1964): J. Appl. Phys. 35:1819CrossRefGoogle Scholar
  9. 9.
    Jakubowski, N., Stuewer, D., Toelg, G. (1986): Int. J. Mass Spectrom. Ion Proc. 71:183CrossRefGoogle Scholar
  10. 10.
    Jakubowski, N., Stuewer, D., Vieth, W. (1987): Anal. Chem. 59:1825CrossRefGoogle Scholar
  11. 11.
    Jakubowski, N., Stuewer, D., Vieth, W. (1988): Fresenius Z. Anal. Chem. 331:145CrossRefGoogle Scholar
  12. 12.
    Hoodless, R. C., Clark, J., Smith, A. (1989): European Winter Conf. Plasma Spectrochem., Reutte, ÖsterreichGoogle Scholar
  13. 13.
    Jakubowski, N., Stuewer, D., Vieth, W. (1987): Mikrochim. Acta [Wien] 1:302CrossRefGoogle Scholar
  14. 14.
    Colby, B. N., Evans, C. A. jr. (1974): Anal. Chem. 46:1236CrossRefGoogle Scholar
  15. 15.
    Technical Information GD012, VG Instruments, Manchester, UKGoogle Scholar
  16. 16.
    Application Note 02.681, VG Instruments, Manchester, UKGoogle Scholar
  17. 17.
    Webb, P. M., Sanderson, N. E. (1987): Electron. Wireless World 93:997Google Scholar
  18. 18.
    Technical Information GD701, VG Instruments, Manchester, UKGoogle Scholar
  19. 19.
    Chu, P. K., Huneke, J. C., Blattner, R. J. (1987): J. Vac. Sci. Techn. A5:295CrossRefGoogle Scholar
  20. 20.
    Kudermann, G. (1988): Fresenius Z. Anal. Chem. 331:697CrossRefGoogle Scholar
  21. 21.
    Chiba, K., Ono, A., Saeki, M. (1986): 11th ISIJ Meeting, Tokyo, JapanGoogle Scholar
  22. 22.
    Charalambous, P. M. (1987): Steel Res. 5/87:197Google Scholar
  23. 23.
    Technical Information GD 02.706, VG Instruments, Manchester, UKGoogle Scholar
  24. 24.
    Technical Information 02.704, VG Instruments, Manchester, UKGoogle Scholar
  25. 25.
    Application Note 02.653, VG Instruments, Manchester, UKGoogle Scholar
  26. 26.
    Application Note 02.686, VG Instruments, Manchester, UKGoogle Scholar
  27. 27.
    Grasserbauer, M. (1987): Mikrochim. Acta [Wien] 1:291CrossRefGoogle Scholar
  28. 28.
    Charalambous, P. M. (1987): Mikrochim. Acta [Wien] 1:295CrossRefGoogle Scholar
  29. 29.
    Mattson, W. A., Bentz, B. L., Harrison, W. W. (1976): Anal. Chem. 48:489CrossRefGoogle Scholar
  30. 30.
    Foss, G. O., Svec, H. J., Conzemius, R. J. (1983): Anal. Chim. Acta 147:151CrossRefGoogle Scholar
  31. 31.
    Jakubowski, N., Stuewer, D. (1989): 11th Int. Symp. Microchem. Techn., Wiesbaden, GermanyGoogle Scholar
  32. 32.
    Müller, K. H., Oechsner, H. (1983): Mikrochim. Acta Suppl. 10:51CrossRefGoogle Scholar
  33. 33.
    Application Report GD 703, VG Instruments, Manchester, UKGoogle Scholar
  34. 34.
    Hecq, M., Hecq, A., Fontignies, M. (1983): Anal. Chim. Acta 155:191CrossRefGoogle Scholar
  35. 35.
    Hall, D. J., Robinson, K. (1987): Amer. Lab. 8/87:14Google Scholar

Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1990

Authors and Affiliations

  • D. Stüwer
    • 1
  1. 1.Institut für Spektrochemie und angewandte SpektroskopieDortmundDeutschland

Personalised recommendations