Skip to main content
SpringerLink
Log in
Book cover

Fünftes Kolloquium über metallkundliche Analyse mit besonderer Berücksichtigung der Elektronenstrahl-Mikroanalyse pp 263–269Cite as

Einsatz der Elektronenstrahl-Mikrosonde (Kathodenlumineszenz) zur Untersuchung halbleitender Verbindungen

  • Conference paper

Part of the book series: Mikrochimica Acta ((MIKROCHIMICA,volume 4))

Zusammenfassung

Zur Lösung einer Reihe von Problemen bei halbleitenden Verbindungen hat sich der Einsatz der Elektronenstrahl-Mikrosonde in Verbindung mit der Rastertechnik bewährt. Beispiele solcher Untersuchungen sind die Abbildung von p-n-Übergängen, die Bestimmung des Einflusses von Oberflächenstörungen auf die Lebensdauer der Ladungsträger und die Messung der Breite der Diffusionszone sowie im unmittelbar praktischen Einsatz die Überprüfung der Funktionsgruppen integrierter Schaltungen. Eine Bestimmung der Dotierungskonzentration kann dagegen durch die Röntgenstrahl-Mikroanalyse im allgemeinen nicht vorgenommen werden.

Vortrag anläßlich des 5. Kolloquiums über metallkundliche Analyse mit besonderer Berücksichtigung der Elektronenstrahl-Mikroanalyse, Wien, 22. bis 25. Oktober 1969.

This is a preview of subscription content, log in via an institution.

Chapter
USD   29.95
Price excludes VAT (USA)
  • Available as PDF
  • Read on any device
  • Instant download
  • Own it forever
eBook
USD   39.99
Price excludes VAT (USA)
  • Available as PDF
  • Read on any device
  • Instant download
  • Own it forever

Tax calculation will be finalised at checkout

Purchases are for personal use only

Learn about institutional subscriptions

Preview

Unable to display preview. Download preview PDF.

Unable to display preview. Download preview PDF.

Literatur

  1. J. W. Strange und S. T. Henderson, Proc. Physic. Soc. 58, 383 (1946).

    Article  ADS  Google Scholar 

  2. A. Bril und H. A. Klasens, Philips Res. Rep. J. 401, 195 (1952).

    Google Scholar 

  3. W. Ehrenberg und J. Franks, Proc. Physic. Soc. B. 66, 1057 (1953).

    Article  ADS  Google Scholar 

  4. P. A. Einstein, Brit. J. Appl. Physics 8, 190 (1957).

    Article  ADS  Google Scholar 

  5. G. F. J. Garlick, Brit. J. Appl. Physics 13, 541 (1962).

    Article  ADS  Google Scholar 

  6. J. P. Davey, X-Ray Optics and Microanalysis. Paris: Hermann. 1966. S. 566.

    Google Scholar 

  7. O. Brümmer, K.-H. Brauer und G. Suwalski, Z. angew. Physik 16, 27 (1963).

    Google Scholar 

Download references

Author information

Authors and Affiliations

  1. Sektion Physik, Martin-Luther-Universität, Halle/Saale, Deutschland

    W. Beier & O. Brümmer

Authors
  1. W. Beier
    View author publications

    You can also search for this author in PubMed Google Scholar

  2. O. Brümmer
    View author publications

    You can also search for this author in PubMed Google Scholar

Rights and permissions

Reprints and permissions

Copyright information

© 1970 Springer-Verlag Wien

About this paper

Cite this paper

Beier, W., Brümmer, O. (1970). Einsatz der Elektronenstrahl-Mikrosonde (Kathodenlumineszenz) zur Untersuchung halbleitender Verbindungen. In: Fünftes Kolloquium über metallkundliche Analyse mit besonderer Berücksichtigung der Elektronenstrahl-Mikroanalyse. Mikrochimica Acta, vol 4. Springer, Vienna. https://doi.org/10.1007/978-3-7091-4529-6_26

Download citation

  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-7091-4529-6_26

  • Publisher Name: Springer, Vienna

  • Print ISBN: 978-3-211-80980-8

  • Online ISBN: 978-3-7091-4529-6

  • eBook Packages: Springer Book Archive

Publish with us

Policies and ethics

Search

Navigation