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Reinraumanlagen für Mikroelektronik und Pharma

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Reinraumtechnik

Part of the book series: VDI-Buch ((VDI-BUCH))

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Zusammenfassung

Zu den reinraumtechnischen Anlagen zählen insbesondere alle Systeme zur Luftaufbereitung und -förderung, wie

• Außenluftsysteme,

• Umluftsysteme,

• Fortluftsysteme.

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  1. 1.

    Wertvolle Anregungen und Unterstützung bei der Gestaltung dieses Abschnitts durch M. Aust, M+W Central Europe GmbH Stuttgart

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Authors and Affiliations

  1. Hohe Warte 21/1, 71254, Ditzingen, Deutschland

    Manfred Renz

Authors
  1. Manfred Renz
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Corresponding author

Correspondence to Manfred Renz .

Editor information

Editors and Affiliations

  1. Wiesbaden, Germany

    Lothar Gail

  2. Abteilung Reinst- und Mikroproduktion, Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA, Stuttgart, Germany

    Udo Gommel

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Renz, M. (2018). Reinraumanlagen für Mikroelektronik und Pharma. In: Gail, L., Gommel, U. (eds) Reinraumtechnik. VDI-Buch. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-54915-5_6

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