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Messtechnik

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Reinraumtechnik

Part of the book series: VDI-Buch ((VDI-BUCH))

  • 9964 Accesses

Zusammenfassung

Die Qualität von Reinräumen wird über eine Vielzahl durch eine Mehrzahl von Messgrößen definiert, s. Abb. 13.1. Die entsprechenden produktrelevanten oder prozesskritischen Parameter sollten deshalb zusammen mit arbeitsplatzspezifischen Richtwerten und einem Hinweis auf gesetzliche Regelungen in der Planungsphase festgelegt werden (DIN ISO EN 14644-4 [1]).

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Notes

  1. 1.

    Hierbei ist zu beachten, dass die Regelung des Druckes auf den Sollwert einen zum Teil erheblichen Zeitbedarf hat, so dass ausreichend Zeit bis zur Stabilisierung der Messwerte eingeplant werden sollte. Es ist empfehlenswert, den Druck über einen gewissen Zeitraum nach der Stabilisierung aufzuzeichnen und zu beurteilen, so dass zufällige Effekte ausgeschlossen werden können.

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Authors and Affiliations

  1. ICT-Facilities GmbH, Friolzheimer Straße 5, 70499, Stuttgart, Deutschland

    Michael Aust

  2. Reinraumtechnik, Bilfinger Maintenance GmbH, Industriepark Höchst, C619, 65929, Frankfurt, Deutschland

    Dirk Stanischewski

Authors
  1. Michael Aust
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  2. Dirk Stanischewski
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Corresponding author

Correspondence to Michael Aust .

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Editors and Affiliations

  1. Wiesbaden, Germany

    Lothar Gail

  2. Abteilung Reinst- und Mikroproduktion, Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA, Stuttgart, Germany

    Udo Gommel

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Aust, M., Stanischewski, D. (2018). Messtechnik. In: Gail, L., Gommel, U. (eds) Reinraumtechnik. VDI-Buch. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-54915-5_13

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