Table of contents

  1. Front Matter
  2. Robert F. Davis, K. S. Ailey, M. D. Bremser, E. Carlson, R. S. Kern, D. J. Kester et al.
    Pages 1-24
  3. Jörg Neugebauer, Chris G. Van de Walle
    Pages 25-44
  4. Daniela Pfannkuche, Sergio E. Ulloa
    Pages 65-80
  5. Richard Nötzel, Jiro Temmyo, Atsuo Kozen, Toshiaki Tamamura, Takashi Fukui, Hideki Hasegawa
    Pages 103-122
  6. Jürgen König, Herbert Schoeller, Gerd Schön
    Pages 215-228
  7. M. Schulz, H. H. Mueller
    Pages 229-242
  8. Back Matter

About this book

Keywords

Elektron Elektronenmikroskop Halbleiter Mikroskopie Rastersondenmikroskopie dünne Schichten

Bibliographic information

  • DOI https://doi.org/10.1007/BFb0107536
  • Copyright Information Friedr.Vieweg & Sohn Braunschweig 1995
  • Publisher Name Springer, Berlin, Heidelberg
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Print ISBN 978-3-528-08043-3
  • Online ISBN 978-3-540-75334-6
  • Series Print ISSN 0430-3393
  • Series Online ISSN 1617-5034
  • About this book
Industry Sectors
Electronics
Chemical Manufacturing