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Mikrosystemtechnik

Prozessschritte, Technologien, Anwendungen

  • Textbook
  • © 2006

Overview

Authors:
  1. Ulrich Hilleringmann
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  • Mikroelektronik, Mikromechanik, Mikrooptik, Sensoren und Aktuatoren - Bausteine der Mikrosystemtechnik

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Table of contents (7 chapters)

  1. Front Matter

    Pages I-X
    Download chapter PDF

  2. Einleitung

    Pages 1-14

  3. Prozesstechnik

    Pages 15-73

  4. Basisprozesse der Mikrosystemtechnik

    Pages 74-124

  5. Sensor- und Aktoreffekte

    Pages 125-157

  6. Monolithisch integrierte Mikrosysteme

    Pages 158-243

  7. Hybride Systeme

    Pages 244-260

  8. Literaturverzeichnis

    Pages 261-264

  9. Back Matter

    Pages 265-271
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About this book

Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.

About the author

Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann ist Leiter des Fachgebietes Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Messtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.

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