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Mikrosystemtechnik

Prozessschritte, Technologien, Anwendungen

  • Authors
  • Ulrich Hilleringmann

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages I-X
  2. Pages 1-14
  3. Pages 15-73
  4. Pages 125-157
  5. Pages 244-260
  6. Pages 261-264
  7. Back Matter
    Pages 265-271

About this book

Introduction

Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.

Keywords

Berechnung BranchenIndex Online Elektronik Fachinformatiker Ingenieurstudium Mikrosystem (MEMS) Mikrosystemtechnik Privatdozent Prüfungsvorbereitung Sensor Siemens System Systeme Systemtechnik VDE

Bibliographic information

Industry Sectors
Materials & Steel
Automotive
Chemical Manufacturing
Biotechnology
Finance, Business & Banking
Electronics
Telecommunications
Consumer Packaged Goods
Energy, Utilities & Environment
Aerospace
Oil, Gas & Geosciences
Engineering