MEMS in der Mikrosystemtechnik

Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme

  • Markus Glück

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages 1-9
  2. Markus Glück
    Pages 11-20
  3. Markus Glück
    Pages 21-64
  4. Markus Glück
    Pages 65-91
  5. Markus Glück
    Pages 93-105
  6. Markus Glück
    Pages 107-118
  7. Markus Glück
    Pages 119-137
  8. Markus Glück
    Pages 139-161
  9. Markus Glück
    Pages 163-168
  10. Markus Glück
    Pages 169-183
  11. Markus Glück
    Pages 185-194
  12. Back Matter
    Pages 195-212

About this book

Introduction

Dieses Lehrbuch behandelt die wichtigsten Werkstoffeigenschaften, physikalischen Grundlagen und Verfahren zur Herstellung mikroelektromechanischer Sensorsysteme (sog. MEMS) und grundlegender Sensorstrukturen. Es vermittelt die Sensorwirkprinzipien und -designs und führt in die Grundlagen der Sensorsignalverarbeitung ein. Abschließend folgen Anwendungsbeispiele für MEMS. Ziel ist es, Studierenden der Elektrotechnik, der Mechatronik aber auch des Maschinenbaus die Prozesstechnik, die Realisierung und den Aufbau mikroelektromechanischer Systeme zu veranschaulichen.

Keywords

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Authors and affiliations

  • Markus Glück
    • 1
  1. 1.Technologie Centrum WestbayernNördlingenDeutschland

Bibliographic information

  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-663-10778-1
  • Copyright Information Vieweg+Teubner Verlag | Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, Wiesbaden 2005
  • Publisher Name Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden
  • eBook Packages Computer Science and Engineering (German Language)
  • Print ISBN 978-3-519-00520-9
  • Online ISBN 978-3-663-10778-1
  • About this book
Industry Sectors
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Automotive
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