Advertisement

Mikrosensorik

Eine Einführung in Technologie und physikalische Wirkungsprinzipien von Mikrosensoren

  • Thomas Elbel

Part of the Studium Technik book series (ST)

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages I-VIII
  2. Thomas Elbel
    Pages 1-5
  3. Thomas Elbel
    Pages 6-31
  4. Thomas Elbel
    Pages 32-52
  5. Thomas Elbel
    Pages 53-88
  6. Thomas Elbel
    Pages 89-109
  7. Thomas Elbel
    Pages 110-137
  8. Thomas Elbel
    Pages 138-152
  9. Back Matter
    Pages 153-176

About this book

Introduction

Die Mikrosensorik als Teilgebiet der Mikrosystemtechnik hat einen rasanten Aufschwung genommen. Zur Lösung der grundsätzlichen Aufgabenstellung der Sensorik - der elektrischen Messung vorwiegend nichtelektrischer Meßgrößen- wurde in den zurückliegenden 10 Jahren eine Vielzahl neuer Mikrosensoren mit zum Teil hervorragenden Sensorparametern und mit völlig neuen Anwendungsmöglichkeiten entwickelt. Das Buch will einen Einblick in dieses faszinierende Arbeitsgebiet vermitteln. Das Buch ist als Lehrbuch konzipiert. Es entstand aus meiner Gastvorlesung "Thermische Sensoren/Mikrosensoren" an der ETH Zürich und aus einem Skript für die Vorlesung "Sensoren/Mikrosensoren" an der FH Hannover. Das Buch wendet sich in erster Linie an Studierende, vor allem an Studenten elektrotechnischer Disziplinen. In der meßtechnischen Praxis und in der angewandten Forschung tätige Ingenieure können das Buch zur Einarbei­ tung in die Mikrosensorik anwenden. Zum Verständnis des Buches sind keine besonderen theoretischen Vorkenntnisse erforderlich. Für Leser ohne Vorkenntnisse auf dem Gebiet der Halbleitertechnologie wurden im Kapitel 2 die für die Mikrosensorik wichtigen technologischen Verfahren wie Fotolithografie oder Silizium-Mikromechanik in knapper Form dargestellt. Für ein vertiefendes Studium dieses umfangreichen Fachgebietes wird auf die angegebene Literatur verwiesen. Nach der zusammenfassenden Beschreibung der für alle Mikrosensoren gemeinsamen techno­ logischen Grundlagen werden in den Kapiteln 3 bis 7 die Sensoren mit ihrer physikalischen Wirkungsweise, ihrem technologischen Autbau und ihren wesentlichen Eigenschaften be­ schrieben. Die Gliederung erfolgt nach der Art der Meßgröße.

Keywords

Beschleunigungssensor Handel Ingenieur Messtechnik Mikrosensor Mikrosystem (MEMS) Physik Sensor Sensorik Technologie

Authors and affiliations

  • Thomas Elbel
    • 1
  1. 1.HannoverDeutschland

Bibliographic information

  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-663-05839-7
  • Copyright Information Vieweg+Teubner Verlag | Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, Wiesbaden 1996
  • Publisher Name Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Print ISBN 978-3-528-03377-4
  • Online ISBN 978-3-663-05839-7
  • Buy this book on publisher's site
Industry Sectors
Pharma
Materials & Steel
Automotive
Chemical Manufacturing
Biotechnology
Finance, Business & Banking
Electronics
Consumer Packaged Goods
Energy, Utilities & Environment
Aerospace
Oil, Gas & Geosciences
Engineering