Advertisement

Silizium-Halbleitertechnologie

Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik

  • Ulrich Hilleringmann

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages I-XI
  2. Ulrich Hilleringmann
    Pages 1-4
  3. Ulrich Hilleringmann
    Pages 5-20
  4. Ulrich Hilleringmann
    Pages 21-31
  5. Ulrich Hilleringmann
    Pages 33-57
  6. Ulrich Hilleringmann
    Pages 59-79
  7. Ulrich Hilleringmann
    Pages 81-103
  8. Ulrich Hilleringmann
    Pages 105-122
  9. Ulrich Hilleringmann
    Pages 123-139
  10. Ulrich Hilleringmann
    Pages 141-149
  11. Ulrich Hilleringmann
    Pages 151-175
  12. Ulrich Hilleringmann
    Pages 177-214
  13. Ulrich Hilleringmann
    Pages 215-224
  14. Ulrich Hilleringmann
    Pages 225-245
  15. Back Matter
    Pages 247-275

About this book

Introduction

Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert.

Der Inhalt
Herstellung von Siliziumscheiben
Oxidation des dotierten Siliziums
Lithografie
Ätztechnik
Dotiertechniken
Depositionsverfahren
Metallisierung und Kontakte
Scheibenreinigung
MOS-Technologien zur Schaltungsintegration
Erweiterungen zur Höchstintegration
Bipolar-Technologie
Montage integrierter Schaltungen

Die Zielgruppen
Studierende der Fachrichtungen Elektronik, Elektrotechnik, Mikrosystemtechnik, Informatik und Physik
Prozessingenieure aus der Halbleiterfertigung, Mikrotechnologen und Schaltungsentwickler

Der Autor
Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann leitet das Fachgebiet Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Mikrosystemtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.

Keywords

Elektronik Halbleitertechnik Chip Bipolar-Technologie CMOS Silizium Elektrotechnik bipolar Bipolarschaltung Dotierung Oxidation Lithografie Ätztechnik Dotiertechniken Schaltungsintegration Höchstintegration Depositionsverfahren Metallisierung Bipolartechnik Integrierter Schaltung

Authors and affiliations

  • Ulrich Hilleringmann
    • 1
  1. 1.Fakultät für Elektrotechnik, Informatik und MathematikUniversität PaderbornPaderbornGermany

Bibliographic information

Industry Sectors
Pharma
Materials & Steel
Automotive
Chemical Manufacturing
Biotechnology
Electronics
IT & Software
Telecommunications
Energy, Utilities & Environment
Aerospace
Oil, Gas & Geosciences
Engineering