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Mikrosystemtechnik auf Silizium

  • Ulrich Hilleringmann

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages I-VIII
  2. Ulrich Hilleringmann
    Pages 1-4
  3. Ulrich Hilleringmann
    Pages 5-41
  4. Ulrich Hilleringmann
    Pages 60-72
  5. Ulrich Hilleringmann
    Pages 73-99
  6. Ulrich Hilleringmann
    Pages 100-130
  7. Ulrich Hilleringmann
    Pages 131-170
  8. Ulrich Hilleringmann
    Pages 171-194
  9. Ulrich Hilleringmann
    Pages 195-198
  10. Ulrich Hilleringmann
    Pages 199-202
  11. Back Matter
    Pages 203-229

About this book

Introduction

Die Mikrosystemtechnik wird auf der Basis der CMOS-Technologie aufbauend in ihren Teilgebieten Mikroelektronik, Integrierte Optik und Mikromechanik diskutiert. Nach einer Einführung in die technologischen Grundlagen der drei bislang getrennten Disziplinen werden verschiedene Wege zur monolithischen Integration der einzelnen Systemkomponenten auf einem Siliziumchip vorgestellt. Besondere Aufmerksamkeit wird dabei der Herstellung von Lichtwellenleitern auf Siliziumsubstrat und der Optimierung der Schnittstellen der Integrierten Optik und der Mikromechanik zur Mikroelektronik gewidmet. Anhand real gefertigter Muster erfolgt eine vergleichende Bewertung der vorgestellten Techniken zur Systemintegration, wobei auch Aspekte der industriellen Herstellung beachtet werden. Die Leistungsfähigkeit der Mikrosystemtechnik auf Silizium wird anhand eines monolithisch integrierten mikromechanischen Drucksensors mit interferometrischer Auslesetechnik und analoger/digitaler CMOS-Signalverarbeitung verdeutlicht. Das Buch gibt einen Einblick in die verschiedenen Disziplinen der Siliziumtechnologie. Es wendet sich an Studenten und Ingenieure der Fachrichtungen Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und Mechatronik.

Keywords

Entwicklung Halbleiter Mechanik Mechatronik Mikroelektronik Mikrosystem (MEMS) Mikrosystemtechnik Optik Signalverarbeitung Systeme Systemintegration Systemtechnik Technik Technologie Werkstoff

Authors and affiliations

  • Ulrich Hilleringmann
    • 1
  1. 1.Universität DortmundDortmundDeutschland

Bibliographic information

  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8
  • Copyright Information Vieweg+Teubner Verlag | Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, Wiesbaden 1995
  • Publisher Name Vieweg+Teubner Verlag
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Print ISBN 978-3-519-06158-8
  • Online ISBN 978-3-322-92766-8
  • Buy this book on publisher's site
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