Mikromechanik

Einführung in Technologie und Anwendungen

  • Stephanus Büttgenbach
Book

Part of the Angewandte Physik book series (ANPH)

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages 1-15
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  2. Bedeutung und Inhalte der Mikromechanik
    Stephanus Büttgenbach
    Pages 17-20
  3. Werkstoffe der Mikromechanik
    Stephanus Büttgenbach
    Pages 21-44
  4. Reinraumtechnik
    Stephanus Büttgenbach
    Pages 45-55
  5. Technologie der Mikromechanik
    Stephanus Büttgenbach
    Pages 56-143
  6. Meßmethoden
    Stephanus Büttgenbach
    Pages 144-161
  7. Anwendungen der Mikromechanik
    Stephanus Büttgenbach
    Pages 162-214
  8. Mikrosystemtechnik
    Stephanus Büttgenbach
    Pages 215-220
  9. Back Matter
    Pages 221-240
    PDF

About this book

Keywords

Elektronik Entwicklung Entwurf Fertigung Industrie Ingenieur Mechanik Mikrosystem (MEMS) Systeme Systemtechnik Technik Technologie Verfahren Werkstoff Wissenschaft

Authors and affiliations

  • Stephanus Büttgenbach
    • 1
  1. 1.Hahn-Schickard-Institut für Mikro- und InformationstechnikVillingen-SchwenningenDeutschland

Bibliographic information

  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-322-92135-2
  • Copyright Information Vieweg+Teubner Verlag | Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, Wiesbaden 1991
  • Publisher Name Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Print ISBN 978-3-519-03071-3
  • Online ISBN 978-3-322-92135-2
  • About this book
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