Anwendungen der hochauflösenden Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS) in der Oberflächenanalyse

  • Günther von Bünau
  • Klaus-Dieter Klöppel

Part of the Forschungsbericht des Landes Nordrhein-Westfalen book series (FOLANW, volume 3049)

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages N1-1
  2. Günther von Bünau, Klaus-Dieter Klöppel
    Pages 3-4
  3. Günther von Bünau, Klaus-Dieter Klöppel
    Pages 4-5
  4. Günther von Bünau, Klaus-Dieter Klöppel
    Pages 5-7
  5. Günther von Bünau, Klaus-Dieter Klöppel
    Pages 8-8
  6. Günther von Bünau, Klaus-Dieter Klöppel
    Pages 9-9
  7. Günther von Bünau, Klaus-Dieter Klöppel
    Pages 10-14
  8. Günther von Bünau, Klaus-Dieter Klöppel
    Pages 14-21
  9. Günther von Bünau, Klaus-Dieter Klöppel
    Pages 22-22
  10. Back Matter
    Pages 23-25

About this book

Keywords

Chemische Reaktion Eindringtiefe Energie Gasphase Genom Halbleiter Information Korrosion Massenspektrometrie Mischen SIMS Sorption Spektrometrie Wiese chemische Reaktionen

Authors and affiliations

  • Günther von Bünau
    • 1
  • Klaus-Dieter Klöppel
    • 1
  1. 1.Physikalische ChemieUniversität — Gesamthochschule — SiegenDeutschland

Bibliographic information

  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-322-87528-0
  • Copyright Information Springer Fachmedien 1981
  • Publisher Name VS Verlag für Sozialwissenschaften, Wiesbaden
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Print ISBN 978-3-531-03049-4
  • Online ISBN 978-3-322-87528-0
  • About this book