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Silizium-Planartechnologie

Grundprozesse, Physik und Bauelemente

  • Authors
  • Hans-Günther Wagemann
  • Tim Schönauer

Part of the Teubner Studienbücher Physik book series (TSBP)

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages I-XVII
  2. Hans-Günther Wagemann, Tim Schönauer
    Pages 1-43
  3. Hans-Günther Wagemann, Tim Schönauer
    Pages 45-85
  4. Hans-Günther Wagemann, Tim Schönauer
    Pages 87-102
  5. Hans-Günther Wagemann, Tim Schönauer
    Pages 103-122
  6. Hans-Günther Wagemann, Tim Schönauer
    Pages 123-138
  7. Hans-Günther Wagemann, Tim Schönauer
    Pages 139-170
  8. Hans-Günther Wagemann, Tim Schönauer
    Pages 171-202
  9. Hans-Günther Wagemann, Tim Schönauer
    Pages 203-204
  10. Back Matter
    Pages 205-214

About this book

Introduction

Die Grundlagen der Mikroelektronik werden kompakt und in leicht verständlicher Form vorgestellt. Der Leser erfährt, wie integrierte Schalkreise hergestellt werden, wie sie funktionieren und wie ihre Grundelemente physikalisch beschrieben werden können. Aufgrund der großen Bedeutung von Simulationsprogrammen in der Silizium-Planartechnologie wird ergänzend auf CAD-Werkzeuge von der Prozesssimulation (z. B. ISE-TCAD) bis hin zur Schaltungssimulation (z. B. SPICE) eingegangen.

Keywords

Bauelement Diode Halbleiter Kondensatoren MOS Planartechnologie Silizium Transistor integrierter Schaltkreis

Bibliographic information

  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-322-80070-1
  • Copyright Information Vieweg+Teubner Verlag | Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, Wiesbaden 2003
  • Publisher Name Vieweg+Teubner Verlag
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Print ISBN 978-3-519-00467-7
  • Online ISBN 978-3-322-80070-1
  • Series Print ISSN 1615-3766
  • Buy this book on publisher's site
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