Praxiswissen Mikrosystemtechnik

Grundlagen — Technologien — Anwendungen

  • Authors
  • Friedemann Völklein
  • Thomas Zetterer

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages I-X
  2. Pages 1-7
  3. Pages 317-452
  4. Back Matter
    Pages 483-491

About this book

Introduction

Die Mikrosystemtechnik gilt als eine der Schlüsseltechnologien des 21. Jahrhunderts. Dieses Fachbuch trägt dem Bedarf an fundiertem Fachwissen Rechnung und gibt dem Leser einen anschaulichen Einstieg in die faszinierende Welt dieser Technik. Hochaktuelle Anwendungen aus der Praxis von komplexen Mikrosystemen zeigen, wie sich miniaturisierte Funktionselemente auf kleinstem Raum integrieren lassen. Das umfangreiche Literaturverzeichnis ist dabei eine wertvolle Hilfe. Dem Fachmann aber auch Studierenden dient das Buch als Nachschlagewerk für zahlreiche technologische Fragestellungen. Diese vollständig überarbeitete und erweiterte Auflage enthält neue Unterkapitel zu Lab-on-a-Chip-Mikrosystemen, neuen Substratmaterialien und zur Laser-Mikrostrukturierung.

Keywords

Berechnungen Dreidimensionale Mikrostrukturierung Dünnschichttechnologie Grundlagen Hardware Herstellung Komplexe Lithographie Mechatronik Mikrostrukturierung Planare Mikrostrukturierung Reinraumtechnik Siliziumtechnik Solartechnik Systemintegration

Bibliographic information

Industry Sectors
Automotive
Chemical Manufacturing
Biotechnology
Electronics
Telecommunications
Consumer Packaged Goods
Energy, Utilities & Environment
Aerospace
Oil, Gas & Geosciences
Engineering