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© 1996

Silizium-Halbleitertechnologie

Textbook

Part of the Teubner Studienskripten (TSS) book series (TSTT)

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages N2-XI
  2. Ulrich Hilleringmann
    Pages 1-3
  3. Ulrich Hilleringmann
    Pages 4-22
  4. Ulrich Hilleringmann
    Pages 23-35
  5. Ulrich Hilleringmann
    Pages 36-54
  6. Ulrich Hilleringmann
    Pages 55-77
  7. Ulrich Hilleringmann
    Pages 78-105
  8. Ulrich Hilleringmann
    Pages 106-124
  9. Ulrich Hilleringmann
    Pages 125-138
  10. Ulrich Hilleringmann
    Pages 139-148
  11. Ulrich Hilleringmann
    Pages 149-177
  12. Ulrich Hilleringmann
    Pages 178-213
  13. Ulrich Hilleringmann
    Pages 214-226
  14. Ulrich Hilleringmann
    Pages 227-253
  15. Back Matter
    Pages 254-281

About this book

Keywords

Aluminium Epitaxie Halbleiter Halbleitertechnologie Modellierung Montage Optimierung Physik Plasmaätzen Technik Technologie Ultraschall Verfahren Zuverlässigkeit

Authors and affiliations

  1. 1.Universität DortmundDeutschland

Bibliographic information

  • Book Title Silizium-Halbleitertechnologie
  • Authors Ulrich Hilleringmann
  • Series Title Teubner Studienskripten (TSS)
  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-663-05853-3
  • Copyright Information Vieweg+Teubner Verlag | Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, Wiesbaden 1996
  • Publisher Name Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Softcover ISBN 978-3-519-00149-2
  • eBook ISBN 978-3-663-05853-3
  • Edition Number 1
  • Number of Pages XI, 280
  • Number of Illustrations 177 b/w illustrations, 0 illustrations in colour
  • Topics Engineering, general
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