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© 1999

Modellierung von qualitäts- und effektivitätsbestimmenden Mechanismen beim Laserabtragen

Book

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages i-9
  2. Gert Callies
    Pages 11-18
  3. Gert Callies
    Pages 41-59
  4. Gert Callies
    Pages 101-102
  5. Gert Callies
    Pages 103-109
  6. Back Matter
    Pages 111-120

About this book

Introduction

Aus dem Inhalt Einführung: Ausgangslage - Phänomenologische Beschreibung des Laserabtragens - Qualität und Effektivität des Laserabtragens - Zielsetzung der Arbeit - Gliederung der Arbeit Modellierung des strukturierenden Abtrags: Dreidimensionales Abtragsmodell - Gültigkeitsgrenzen des Modells Qualitätsbestimmende Mechanismen beim Strukturieren: Einfluß der Vielfachreflexion beim Abtragen mit Excimerlaser ohne Werkstückvorschub -Strukturierung durch Abtrag mit Vorschub und variabler Maskengeometrie - Synopsis Simulation der Materialdampfexpansion: Phänomenologische Beschreibung der Expansion - Physikalische Formulierung der Expansion des verdampften Materials - Lösung mit dem Finite-Differenzen-Verfahren - Ergebnisse der Simulationsrechnungen - Synopsis Wechselwirkungsmechanismen im Materialdampf: Inverse Bremsstrahlung - Mie - Streuung - Auswirkung der Wechselwirkungsmechanismen auf die Materialdampfexpansion - Synopsis Effektivitätsbestimmende Faktoren ermittelt durch ganzheitliche Betrachtungsweise: Einfluß der Laserparameter auf die Effektivität - Einfluß des Umgebungsgases auf die Effektivität - Synopsis Zusammenfassung und Ausblick Literatur Anhang: Werkstoffeigenschaften / Dissoziation und Ionisation / Diskretisierung der Eulergleichungen / Explizite Berechnung des komplexen Brechungsindexes / Kritischer Radius, minimale Energie, Clusterdichte.

Keywords

Abtragen Arbeit Entwicklung Excimerlaser Fertigung Industrie Laser Medizintechnik Modellierung Physik Qualität Simulation Systeme Verfahren Werkstoff

Authors and affiliations

  1. 1.Universität StuttgartDeutschland

About the authors

Dr.-Ing. Gert Callies

Bibliographic information

  • Book Title Modellierung von qualitäts- und effektivitätsbestimmenden Mechanismen beim Laserabtragen
  • Authors Gert Callies
  • Series Title Laser in der Materialbearbeitung Forschungsberichte des IFSW
  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-663-01144-6
  • Copyright Information Vieweg+Teubner Verlag | Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, Wiesbaden 1999
  • Publisher Name Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Softcover ISBN 978-3-519-06245-5
  • eBook ISBN 978-3-663-01144-6
  • Series ISSN 1616-0770
  • Edition Number 1
  • Number of Pages V, 120
  • Number of Illustrations 93 b/w illustrations, 0 illustrations in colour
  • Topics Engineering, general
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