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Reinraumtechnik

  • Lothar Gail
  • Hans-Peter Hortig

Part of the VDI-Buch book series (VDI-BUCH)

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages I-XIX
  2. Hans-Peter Hortig
    Pages 1-18
  3. Jochen Schliesser, Dieter Werner
    Pages 19-34
  4. Christoph Helsper
    Pages 57-82
  5. Rüdiger Detzer
    Pages 83-100
  6. Berthold Förster, Dieter Schroers
    Pages 101-128
  7. Andreas Neuber, Wahidi Hasib
    Pages 212-269
  8. Dietrich Krüger
    Pages 295-306
  9. Carsten Moschner, Monique Slaghuis
    Pages 307-343
  10. Udo Gommel, Jochen Schließer, Alexander Rapp
    Pages 344-369
  11. Michael Aust
    Pages 370-388
  12. Rainald Forbert, Lothar Gail
    Pages 389-408
  13. Horst Weißsieker
    Pages 409-440
  14. Berthold Förster, Hermann Allgaier
    Pages 441-470
  15. Lothar Gail, Christine Montigny, Hans-H. Schicht
    Pages 471-495
  16. Back Matter
    Pages 497-508

About this book

Introduction

Das Buch stellt den aktuellen Stand der Reinraumtechnik erstmals mit allen wesentlichen Teilgebieten dar. Die Anwendung der Reinraumtechnik in Schlüsseltechnologien wie Pharma und Mikroelektronik bildet einen weiteren Schwerpunkt der Publikation. Das Ziel des Buches ist die systematische Einführung in Teilgebiete sowie in traditionelle und neue Anwendungen. Es richtet sich ebenso an die Nutzer der Reinraumtechnik in allen Bereichen von Forschung und Industrie wie an die Planer reinraumtechnischer Einrichtungen und die Hersteller von Geräten und Ausrüstungen. Die Herausgeber und das Autorenteam sind der Reinraumtechnik seit Jahren als ausgewiesene Experten verbunden. Fachpublikationen und Ausschußtätigkeiten belegen ihre Einbindung in die weltweite Technologieentwicklung.

Keywords

Arbeitsschutz Biokontamination Chemische Verfahrenstechnik Entwicklung Filtration Hygiene Laminar Flow Messtechnik Mikroelektronik Produktion Reinigung Reinraumtechnik Reinst-Prozesse Strömung Verfahrenstechnik

Editors and affiliations

  • Lothar Gail
    • 1
  • Hans-Peter Hortig
    • 2
  1. 1.Siemens Axiva GmbH & Co. KGFrankfurt/MainDeutschland
  2. 2.HattersheimDeutschland

Bibliographic information

  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-662-09734-2
  • Copyright Information Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2002
  • Publisher Name Springer, Berlin, Heidelberg
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Print ISBN 978-3-662-09735-9
  • Online ISBN 978-3-662-09734-2
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Industry Sectors
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