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Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen

Beschichten und Strukturieren in der Mikrotechnik

  • Gerhard Franz

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages I-X
  2. Gerhard Franz
    Pages 1-3
  3. Gerhard Franz
    Pages 5-9
  4. Gerhard Franz
    Pages 11-25
  5. Gerhard Franz
    Pages 63-84
  6. Gerhard Franz
    Pages 85-146
  7. Gerhard Franz
    Pages 147-190
  8. Gerhard Franz
    Pages 191-248
  9. Gerhard Franz
    Pages 249-271
  10. Gerhard Franz
    Pages 273-286
  11. Gerhard Franz
    Pages 287-312
  12. Gerhard Franz
    Pages 313-317
  13. Gerhard Franz
    Pages 319-388
  14. Gerhard Franz
    Pages 389-394
  15. Gerhard Franz
    Pages 395-395
  16. Back Matter
    Pages 397-435

About this book

Keywords

Entwicklung Halbleiter Mikroelektronik Mikrometer Mikrotechnologie Plasmaphysik Plasmaprozess Plasmat Produktion

Authors and affiliations

  • Gerhard Franz
    • 1
  1. 1.Photonik-TechnologieSiemens AG, MünchenMünchenDeutschland

Bibliographic information

  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-662-08979-8
  • Copyright Information Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1994
  • Publisher Name Springer, Berlin, Heidelberg
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Print ISBN 978-3-662-08980-4
  • Online ISBN 978-3-662-08979-8
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