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Kalte Plasmen

Grundlagen, Erscheinungen, Anwendungen

  • Gerhard Franz

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages I-X
  2. Gerhard Franz
    Pages 1-3
  3. Gerhard Franz
    Pages 9-21
  4. Gerhard Franz
    Pages 22-39
  5. Gerhard Franz
    Pages 40-59
  6. Gerhard Franz
    Pages 60-89
  7. Gerhard Franz
    Pages 90-127
  8. Gerhard Franz
    Pages 128-163
  9. Gerhard Franz
    Pages 164-175
  10. Gerhard Franz
    Pages 176-187
  11. Gerhard Franz
    Pages 188-203
  12. Gerhard Franz
    Pages 204-205
  13. Gerhard Franz
    Pages 206-267
  14. Gerhard Franz
    Pages 272-285
  15. Back Matter
    Pages 286-300

About this book

Keywords

Energie Glimmentladungen Oberflächenbehandlung Plasmaphysik Plasmatechnik Streuung Umwelt Verfahren

Authors and affiliations

  • Gerhard Franz
    • 1
  1. 1.Zentralabteilung Forschung und EntwicklungSiemens AGMünchenDeutschland

Bibliographic information

  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-662-08045-0
  • Copyright Information Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1990
  • Publisher Name Springer, Berlin, Heidelberg
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Print ISBN 978-3-540-53160-9
  • Online ISBN 978-3-662-08045-0
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