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Halbleiter-Technologie

  • Ingolf Ruge
  • Hermann Mader

Part of the Halbleiter-Elektronik book series (HALBLEITER, volume 4)

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages N2-XVIII
  2. Ingolf Ruge, Hermann Mader
    Pages 1-7
  3. Ingolf Ruge, Hermann Mader
    Pages 8-14
  4. Ingolf Ruge, Hermann Mader
    Pages 15-54
  5. Ingolf Ruge, Hermann Mader
    Pages 55-122
  6. Ingolf Ruge, Hermann Mader
    Pages 123-137
  7. Ingolf Ruge, Hermann Mader
    Pages 138-170
  8. Ingolf Ruge, Hermann Mader
    Pages 171-178
  9. Ingolf Ruge, Hermann Mader
    Pages 179-239
  10. Ingolf Ruge, Hermann Mader
    Pages 240-256
  11. Ingolf Ruge, Hermann Mader
    Pages 257-263
  12. Ingolf Ruge, Hermann Mader
    Pages 264-272
  13. Back Matter
    Pages 273-288

About this book

Introduction

Aus den Besprechungen: "Der Autor wendet sich mit diesem Buch an Leser, die Halbleiterkomponenten herstellen wollen. Er versucht einen Mittelweg zu nehmen, indem er sich auf grundlegende Theorien abstützt, aber auch technologische Prozesse beschreibt. Auch Schwierigkeiten, die entstehen, wenn neu entwickelte Technologien in die Produktion übergeführt werden müssen, verschweigt er nicht. ..." #PTT Bulletin technique/Technische Mitteilungen# "... Dem Autor dieses Buches ist es gelungen, sowohl die grundlegenden Theorien als auch die technologischen Prozesse und Verfahren in einer lebendigen und eindrucksvollen Art zu behandeln. Das Buch wird viele Freunde finden." #Elin-Zeitschrift# "Das Buch schließt eine Lücke in der deutschsprachigen Literatur, die von Lehrenden und Lernenden und sicher auch von Praktikern stark empfunden wurde. Der Versuch des Verfassers, sich bei der Beschreibung der technologischen Prozesse nicht in Einzelheiten zu verlieren, vielmehr das Grundsätzliche herauszustellen und auch theoretisch abzustützen, darf als geglückt bezeichnet werden..." #AEU Archiv für Elektronik und Übertragungstechnik#

Keywords

Dotierung Elektronik Halbleiter Kennlinien Messverfahren Mikromechanik Phase Schaltung Signal Spannung Übertragungstechnik

Authors and affiliations

  • Ingolf Ruge
    • 1
  • Hermann Mader
    • 1
  1. 1.MünchenDeutschland

Bibliographic information

  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-642-58235-6
  • Copyright Information Springer-Verlag Berlin, Heidelberg 1991
  • Publisher Name Springer, Berlin, Heidelberg
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Print ISBN 978-3-540-53873-8
  • Online ISBN 978-3-642-58235-6
  • Series Print ISSN 0172-5882
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