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Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten

Book
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Part of the IPA-IAO Forschung und Praxis book series (IPA, volume 281)

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages 1-14
  2. Jochen Schließer
    Pages 15-17
  3. Jochen Schließer
    Pages 18-25
  4. Jochen Schließer
    Pages 41-47
  5. Jochen Schließer
    Pages 94-110
  6. Jochen Schließer
    Pages 111-112
  7. Jochen Schließer
    Pages 113-123
  8. Back Matter
    Pages 125-138

About this book

Keywords

Entwicklung Fertigung Optimierung Produktion Produktionstechnik Simulation

Authors and affiliations

  1. 1.Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA)StuttgartDeutschland

Bibliographic information

  • Book Title Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten
  • Authors Jochen Schließer
  • Series Title IPA-IAO Forschung und Praxis
  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-642-46882-7
  • Copyright Information Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1999
  • Publisher Name Springer, Berlin, Heidelberg
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Softcover ISBN 978-3-540-65560-2
  • eBook ISBN 978-3-642-46882-7
  • Edition Number 1
  • Number of Pages , 123
  • Number of Illustrations 0 b/w illustrations, 0 illustrations in colour
  • Topics Industrial and Production Engineering
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