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© 2004

Mikrosystemtechnik

Konzepte und Anwendungen

  • Authors
Textbook

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages I-XI
  2. Ulrich Mescheder
    Pages 1-10
  3. Ulrich Mescheder
    Pages 11-60
  4. Ulrich Mescheder
    Pages 61-120
  5. Ulrich Mescheder
    Pages 121-174
  6. Ulrich Mescheder
    Pages 175-217
  7. Ulrich Mescheder
    Pages 219-256
  8. Back Matter
    Pages 257-292

About this book

Introduction

Die wirtschaftliche Bedeutung der Mikrosystemtechnik hat in den letzten Jahren stark zugenommen. Um die Vorteile der Mikrosystemtechnik erfolgreich nutzen zu können benötigt der Ingenieur fundierte Kenntnisse verschiedener Disziplinen wie Elektronik, Mechanik, Optik, Herstellungsverfahren und der Systemtheorie. Neben grundlegenden Konzepten der Mikrosystemtechnik werden detailliert Realisierungsbeispiele von Mikrosystemen beschrieben. Zahlreiche Übungsaufgaben am Ende eines jeden Kapitels dienen der Selbstkontrolle und Festigung des behandelten Stoffes. Neben wichtigen Korrekturen informiert die zweite Auflage ergänzend über neuere Verfahrensentwicklungen und neue Typen von Drehratensensoren sowie über Mikroschalter im Bereich Aktorik. Im Internet finden sich unter http://mescheder.net/ulrich/ Ergänzungen zum Buch und Lösungen zu den Aufgaben.

Keywords

Elektronik Mikrosystem (MEMS) Mikrosystemtechnik Optik Sensor Systemtechnik Systemtheorie Werkstoff

About the authors

Prof. Dr. Ulrich Mescheder ist Leiter des Mikroelektronik-Laboratoriums am Fachbereich Mechatronik und Mikrosysteme der Fachhochschule Furtwangen.

Bibliographic information

Industry Sectors
Pharma
Automotive
Chemical Manufacturing
Electronics
Telecommunications
Consumer Packaged Goods
Aerospace
Oil, Gas & Geosciences
Engineering

Reviews

"Das Buch Mikrosystemtechnik nimmt unter den Lehrbüchern einen herausragenden Platz ein."
Physik Journal, 04/2005