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© 2003

Silizium-Planartechnologie

Grundprozesse, Physik und Bauelemente

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Textbook
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Part of the Teubner Studienbücher Physik book series (TSBP)

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages I-XVII
  2. Hans-Günther Wagemann, Tim Schönauer
    Pages 1-43
  3. Hans-Günther Wagemann, Tim Schönauer
    Pages 45-85
  4. Hans-Günther Wagemann, Tim Schönauer
    Pages 87-102
  5. Hans-Günther Wagemann, Tim Schönauer
    Pages 103-122
  6. Hans-Günther Wagemann, Tim Schönauer
    Pages 123-138
  7. Hans-Günther Wagemann, Tim Schönauer
    Pages 139-170
  8. Hans-Günther Wagemann, Tim Schönauer
    Pages 171-202
  9. Hans-Günther Wagemann, Tim Schönauer
    Pages 203-204
  10. Back Matter
    Pages 205-214

About this book

Introduction

Die Grundlagen der Mikroelektronik werden kompakt und in leicht verständlicher Form vorgestellt. Der Leser erfährt, wie integrierte Schalkreise hergestellt werden, wie sie funktionieren und wie ihre Grundelemente physikalisch beschrieben werden können. Aufgrund der großen Bedeutung von Simulationsprogrammen in der Silizium-Planartechnologie wird ergänzend auf CAD-Werkzeuge von der Prozesssimulation (z. B. ISE-TCAD) bis hin zur Schaltungssimulation (z. B. SPICE) eingegangen.

Keywords

Bauelement Diode Halbleiter Kondensatoren MOS Planartechnologie Silizium Transistor integrierter Schaltkreis

About the authors

Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H.G. Wagemann, TU Berlin
Dr. Tim Schönauer, Infineon Technologies AG

Bibliographic information

Industry Sectors
Automotive
Chemical Manufacturing
Biotechnology
Electronics
Telecommunications
Consumer Packaged Goods
Pharma
Materials & Steel
Energy, Utilities & Environment
Aerospace
Oil, Gas & Geosciences
Engineering