Fundamental issues in heteroepitaxy—A Department of Energy, Council on Materials Science Panel Report

This is a preview of subscription content, access via your institution.

References

  1. 1

    M. L. Frankenheim, Ann. Phys. 37, 516 (1839).

    Google Scholar 

  2. 2

    L. Royer, Bull. Soc. Fr. Mineral. Crist. 51, 7 (1928).

    CAS  Google Scholar 

  3. 3

    H. Seifert, in Structure and Properties of Solid Surfaces, edited by R. Gomer and C. S. Smith (Univ. of Chicago Press, 1953), p. 318.

  4. 4

    F. C. Frank and J. H. van der Merwe, Proc. Roy. Soc. A198, 216 (1949).

    Google Scholar 

  5. 5

    J. W. Matthews, Epitaxial Growth (Academic Press, New York, 1975).

    Google Scholar 

  6. 6

    G. Honjo and K. Yagi, in Current Topics in Materials Science, edited by E. Kaldis (North Holland, Amsterdam, 1980), p. 195.

    Google Scholar 

  7. 7

    B. W. Dodson, I. J. Fritz, S. T. Picraux, and J. Y. Tsao, in Multilayers: Synthesis, Properties and Non-Electronic Applications, edited by T. W. Barbee, Jr., F. Spaepen, and L. Greer (MRS, Pittsburgh, PA, 1988), p. 141.

    Google Scholar 

  8. 8

    E. Bauer, Appl. Surf. Sci. 11/12, 479 (1982).

    Article  Google Scholar 

  9. 9

    R. Kern, G. Le Lay, and J. J. Metois, in Current Topics in Materials Science, edited by E. Kaldis (North Holland, Amsterdam, 1979), p. 130.

    Google Scholar 

  10. 10

    R. W. Vook, Int. Met. Rev. 27, 209 (1982).

    CAS  Article  Google Scholar 

  11. 11

    C. P. Flynn, J. Phys. F18, L195 (1988); M. H. Yang and C. P. Flynn, Phys. Rev. Lett. 62, 2476 (1989).

    Article  Google Scholar 

  12. 12

    C. P. Flynn, Proc. Acta Metall. Conf. on Metal-Ceramic Interfaces (Santa Barbara, CA, Jan. 1989), Acta Scripta (in press).

  13. 13

    E. Bauer, Z. Krist, 110, 372 (1958).

  14. 14

    R. Bruinsma and A. Zangwill, Europhys. Lett. 4, 729 (1987).

    CAS  Article  Google Scholar 

  15. 15

    M. H. Grabow and G. H. Gilmer, in Layered Structures and Epitaxy, edited by J. M. Gibson, G. C. Osbourn, and R. M. Tromp (MRS, Pittsburgh, PA, 1986), p. 13.

  16. 16

    J. H. van der Merwe, J. Appl. Phys. 34, 117 (1963).

    Article  Google Scholar 

  17. 17

    B. W. Dodson and P. A. Taylor, Appl. Phys. Lett. 49, 642 (1986).

    CAS  Article  Google Scholar 

  18. 18

    J. Woltersdorf, Appl. Surf. Sci. 11/12, 495 (1982).

    Article  Google Scholar 

  19. 19

    J. C. Bean, L. C. Feldman, A. T. Fiory, S. Nakahara, and I. K. Robinson, J. Vac. Sci. Technol. A2, 436 (1984).

    Article  Google Scholar 

  20. 20

    P. S. Peercy and G. C. Osbourn, J. Metals 39, 14 (1986).

    Google Scholar 

  21. 21

    B. W. Dodson and J. Y. Tsao, Appl. Phys. Lett. 51, 1325 (1987).

    CAS  Article  Google Scholar 

  22. 22

    B. W. Dodson and J. Y. Tsao, in Ann. Rev. in Mater. Sci. 19, 419 (1989).

    CAS  Article  Google Scholar 

  23. 23

    J. Y. Tsao, B. W. Dodson, S. T. Picraux, and D. M. Cornelison, Phys. Rev. Lett. 59, 2455 (1987).

    CAS  Article  Google Scholar 

  24. 24

    B. W. Dodson and J. Y. Tsao, Appl. Phys. Lett. 55, 1345 (1989).

    Article  Google Scholar 

  25. 25

    B. W. Dodson, R. Hull, and J. C. Bean, Phys. Rev. Lett. (1990) (in press).

  26. 26

    D. M. Wood, S. H. Wei, and A. Zunger, Phys. Rev. B37, 1342 (1988).

    Article  Google Scholar 

  27. 27

    P. N. Keating, Phys. Rev. 145, 637 (1966).

    CAS  Article  Google Scholar 

  28. 28

    2S. D. M. Wood and A. Zunger, Phys. Rev. Lett. 61, 1501 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  29. 29

    H. R. Jen, M. J. Cherng, and G. B. Stringfellow, Appl. Phys. Lett. 48, 1603 (1986).

    CAS  Article  Google Scholar 

  30. 30

    Y. E. Ihm, N. Otsuka, J. Klem, and H. Morkoc, Appl. Phys. Lett. 51, 2013 (1987).

    CAS  Article  Google Scholar 

  31. 31

    M. J. Jou, Y. T. Cherng, H. R. Jen, and G. B. Stringfellow, J. Cryst. Growth 93, 62 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  32. 32

    I. A. Morrison, M. H. Kang, and E. J. Mele, Phys. Rev. B39, 1575 (1989).

    Article  Google Scholar 

  33. 33

    Z. Q. Wang, S. H. Liu, Y. S. Li, F. Jona, and P. M. Marcus, Phys. Rev. B35, 9322 (1987).

    Article  Google Scholar 

  34. 34

    D. W. Goodman, J. E. Houston, and C. H. F. Peden, J. Vac. Sci. Technol. A5, 823 (1987).

    Google Scholar 

  35. 35

    V. L. Moruzzi, P. M. Marcus, K. Schwarz, and P. Mohn, Phys. Rev. B34, 1784 (1986).

    Article  Google Scholar 

  36. 36

    R. Brunisma and A. Zangwill, J. Phys. (Paris) 47, 2055 (1986).

    Article  Google Scholar 

  37. 37

    B. W. Dodson, D. R. Myers, A. K. Datye, V. S. Kaushik, D. L. Kendall, and B. Martinez-Tovar, Phys. Rev. Lett. 61, 2681 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  38. 38

    L. J. Schowalter, E. L. Hall, N. Lewis, and S. Hashimoto, in Thin Films: Stresses and Mechanical Properties, edited by J. C. Bravman, W. D. Nix, D. M. Barnett, and D. A. Smith (MRS, Pittsburgh, PA, 1989).

  39. 39

    R. Du and C. P. Flynn (preprint).

  40. 40

    F. H. Stillinger and T. A. Weber, Phys. Rev. B31, 5262 (1985).

    Article  Google Scholar 

  41. 41

    M. I. Baskes, Phys. Rev. Lett. 59, 2666 (1987).

    CAS  Article  Google Scholar 

  42. 42

    M. S. Daw and M. I. Baskes, Phys. Rev. B29, 6443 (1984).

    Article  Google Scholar 

  43. 43

    43.. K. E. Khor and S. D. DasSarma, Phys. Rev. B36, 7733 (1987); S. Clarke and D. D. Vvedensky, J. Appl. Phys. 63, 2272 (1988).

    Article  Google Scholar 

  44. 44

    B. W. Dodson, Phys. Rev. Lett. (1989) (in press).

  45. 45

    A. Madhukar and S. V. Ghaisas, CRC Crit. Rev. in Solid State Mat. Sci. 14, 1 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  46. 46

    R. Car and M. Parinello, Phys. Rev. Lett. 55, 2471 (1985).

    CAS  Article  Google Scholar 

  47. 47

    D. J. Eaglesham and E. P. Kvam, Phil. Mag. A59, 1059 (1989).

    Article  Google Scholar 

  48. 48

    H. M. Cox, S. G. Hummel, and V. G. Keramides, J. Cryst. Growth 79, 900 (1986); H. M. Cox, P. C. Morais, D. M. Huang, P. Bastos, T. J. Gmitter, L. Nazar, J. M. Worlock, E. Yablonovitch, and S. G. Hummel, in Gallium Arsenide and Related Compounds 1988, Inst. Phys. Conf. Ser. #96, 119 (1989).

    CAS  Article  Google Scholar 

  49. 49

    G. B. Stringfellow, Organometallic Vapor Phase Epitaxy: Theory and Practice (Academic Press, Boston, MA, 1989).

    Google Scholar 

  50. 50

    C. Plass, H. Heinecke, O. Kaiser, H. Lüth, and P. Balk, J. Cryst. Growth 88, 455 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  51. 51

    D. E. Aspnes, E. Colas, A. A. Studna, R. Bhat, M. A. Koza, and V. G. Keramidas, Phys. Rev. Lett. 61, 2782 (1988); D. E. Aspnes, R. Bhat, E. Colas, V. G. Keramidas, M. A. Koza, and A. A. Studna, J. Vac. Sci. Technol. A7, 711 (1989); D. E. Aspnes, J. P. Harbison, A. A. Studna, and L. T. Florez, J. Vac. Sci. Technol. A6, 1327 (1987); D. E. Aspnes, R. Bhat, E. Codas, L. T. Florez, J. P. Harbison, M. K. Kelly, V. G. Keramidas, M. A. Koza, and A. A. Studna, SPIE Proc. 1037, 2 (1989).

    CAS  Article  Google Scholar 

  52. 52

    H. Asai, J. Cryst. Growth 80, 425 (1987).

    CAS  Article  Google Scholar 

  53. 53

    H. Kawai, K. Kaneko, and N. Watanabe, J. Appl. Phys. 56, 463 (1984).

    CAS  Article  Google Scholar 

  54. 54

    K. Kajiwara, H. Kawai, K. Kaneko, and N. Watanabe, Jpn. J. Appl. Phys. 24, L85 (1985).

    Article  Google Scholar 

  55. 55

    D. C. Bertolet, J. K. Hsu, and K. M. Lau, J. Appl. Phys. 62, 120 (1987).

    CAS  Article  Google Scholar 

  56. 56

    J. Singh, K. K. Bajaj, D. C. Reynolds, C. W. Litton, P. Y. Wu, W. T. Masselink, R. Fischer, and H. Morkoc, J. Vac. Sci. Technol. B3, 1061 (1985).

    Article  Google Scholar 

  57. 57

    W. T. Tsang and E. F. Schubert, Appl. Phys. Lett. 49, 855 (1985).

    Google Scholar 

  58. 58

    A. Ourmazd, in Proc. of US/Japan Seminar on Alloy Semiconductors, edited by G. B. Stringfellow and A. Sasaki (Elsevier, Amsterdam, 1989).

  59. 59

    M. Razeghi, J. Nagle, and C. Weisbuch, Inst. Phys. Conf. Ser. #74, 379 (1985).

    Google Scholar 

  60. 60

    T. Y. Wang, K. L. Fry, A. Persson, E. H. Reihlen, and G. B. Stringfellow, Appl. Phys. Lett. 52, 290 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  61. 61

    T. Y. Wang, K. L. Fry, A. Persson, E. H. Reihlen, and G. B. Stringfellow, J. Appl. Phys. 63, 2674 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  62. 62

    G. B. Stringfellow, J. Electron. Mater. 17, 327 (1988).

    CAS  Google Scholar 

  63. 63

    E. Kapon, J. P. Harbison, C. P. Yun, and L. T. Florez, Appl. Phys. Lett. 54, 304 (1989); H. P. Meier, E. Van Giesen, W. Walker, C. Harder, M. Krahl, and D. Bimberg, Appl. Phys. Lett. 54, 433 (1989).

    CAS  Article  Google Scholar 

  64. 64

    Emerging Technologies for In Situ Processing, edited by D. E. Ehrlich and V. T. Nguyen, NATO Advanced Science Institute Series, Series E: Applied Sciences No. 139 (Martius Nijhoff, Dordrecht, Boston, 1988).

  65. 65

    P. Chen, J. Y. Kim, A. Madhukar, and N. M. Cho, J. Vac. Sci. Technol. B4, 890 (1986).

    Article  Google Scholar 

  66. 66

    J. H. Neave, P. J. Dobson, B. A. Joyce, and J. Zhang, Appl. Phys. Lett. 47, 100 (1985).

    CAS  Article  Google Scholar 

  67. 67

    R. Dingle, H. L. Stormer, A. C. Gossard, and W. Wiegmann, Appl. Phys. Lett. 33, 665 (1978).

    CAS  Article  Google Scholar 

  68. 68

    E. F. Schubert and K. Ploog, Jpn. J. Appl. Phys. 24, L608 (1985); C. E. C. Wood, G. Metzke, J. Berry, and L. F. Eastman, J. Appl. Phys. 51, 383 (1980).

    Article  Google Scholar 

  69. 69

    Y. Horikoshi, M. Kawashima, and H. Yamaguchi, Jpn. J. Appl. Phys. 25, L868 (1986); Y. Horikoshi, M. Kawashima, and H. Yamaguchi, Jpn. J. Appl. Phys. 27, 169 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  70. 70

    J. F. Gibbons, C. M. Gronet, and K. E. Williams, Appl. Phys. Lett. 47, 721 (1985).

    CAS  Article  Google Scholar 

  71. 71

    P. C. Falks and I. J. Beckers, Appl. Phys. Lett. 41, 167 (1982).

    Article  Google Scholar 

  72. 72

    N. Herbots, B. R. Appleton, T. S. Noggle, R. A. Zuhr, and S. J. Pennycook, Nucl. Inst. Methods B13, 250 (1986).

    CAS  Article  Google Scholar 

  73. 73

    See, e.g., J. E. Greene, CRC Critical Reviews of Solid State and Materials Science 11, 47 (1983).

    CAS  Article  Google Scholar 

  74. 74

    T. C. Huang, G. Lim, F. Parmigiani, and E. Kay, J. Vac. Sci. Technol. A3, 2161 (1985).

    Article  Google Scholar 

  75. 75

    L. S. Yu, J. M. E. Harper, J. J. Cuomo, and D. A. Smith, J. Vac. Sci. Technol. A4, 443 (1986).

    Article  Google Scholar 

  76. 76

    H. Jorke, H-J. Herzog, and H. Kibbel, Appl. Phys. Lett. 47, 511 (1985).

    CAS  Article  Google Scholar 

  77. 77

    J. E. Greene, J. Vac. Sci. Technol. 1, 229 (1983).

    CAS  Article  Google Scholar 

  78. 78

    N. Herbots, P. Cullen, S. J. Pennycook, B. R. Appleton, T. S. Noggle, and R. A. Zuhr, Nucl. Instrum. and Meth. B. (in press).

  79. 79

    J. Y. Tsao, E. Chason, K. M. Horn, D. K. Brice, and S. T. Picraux, Nucl. Instr. and Meth. B39, 72 (1989).

    CAS  Article  Google Scholar 

  80. 80

    E. Chason, K. M. Horn, J. Y. Tsao, and S. T. Picraux, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 128, 35 (1989).

    CAS  Article  Google Scholar 

  81. 81

    K. M. Horn, E. Chason, J. Y. Tsao, and S. T. Picraux, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 131, 549 (MRS, Pittsburgh, PA, 1989).

    Google Scholar 

  82. 82

    S. M. Bedair, J. K. Whisnant, N. H. Karam, D. Griffis, N. A. El-Masry, and H. H. Stadelmaier, J. Cryst. Growth 77, 229 (1986); S. M. Bedair, J. K. Whisnant, N. H. Karam, M. A. Tischler, and T. Katsuyana, Appl. Phys. Lett. 48, 174 (1986).

    CAS  Article  Google Scholar 

  83. 83

    A. Doi, Y. Aoyagi, and S. Namba, Appl. Phys. Lett. 48, 787 (1986); A. Doi, Y. Aoyagi, and S. Namba, Appl. Phys. Lett. 49, 785 (1986).

    Article  Google Scholar 

  84. 84

    J. G. Eden, J. E. Greene, J. G. Osmundsen, D. Lubben, C. C. Abele, S. Gorbutkin, and H. D. Desai, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 17, 185 (1983).

    CAS  Article  Google Scholar 

  85. 85

    A. Ishitani, Y. Oshita, K. Tanigaki, and K. Takada, J. Appl. Phys. 61, 2224 (1987).

    CAS  Article  Google Scholar 

  86. 86

    D. W. Kisker and R. D. Feldman, Mater. Lett. 3, 485 (1985); D. W. Kisker and R. D. Feldman, J. Cryst. Growth 72, 102 (1985).

    CAS  Article  Google Scholar 

  87. 87

    W. Roth, M. Fischer, D. Grundmann, R. Lückerath, I.I. Lüth, and W. Richter, J. Vac. Technol. 5, 1453 (1987).

    Article  Google Scholar 

  88. 88

    J. M. Gee, P. J. Hargis, Jr., M. J. Carr, D. R. Tallant, and R. W. Light, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 29, 15 (1984).

    CAS  Article  Google Scholar 

  89. 89

    S. Nishida, T. Shiimito, A. Yamada, S. Karasawa, M. Konagai, and K. Takashashi, Appl. Phys. Lett. 49, 79 (1986).

    CAS  Article  Google Scholar 

  90. 90

    T. Balk, M. Fischer, D. Grundmann, R. Lückerath, I. I. Lüth, and W. Richter, J. Vac. Sci. Technol. 5, 1453 (1987).

    CAS  Article  Google Scholar 

  91. 91

    V. M. Donnelly, D. Brasen, A. Appelbaum, and M. Geva, J. Appl. Phys. 58, 2022 (1985); V. M. Donnelly, D. Braseu, A. Appelbaum, and M. Geva, J. Vac. Sci. Technol. A4, 716 (1986).

    CAS  Article  Google Scholar 

  92. 92

    S. J. C. Irvine, J. B. Mullin, and J. Tunnicliffe, J. Cryst. Growth 68, 188 (1984); S. J. C. Irvine, J. B. Mullin, and J. Tunnicliffe, Chem. Phys. 39, 234 (1984); S. J. C. Irvine, J. B. Mullin, G. W. Blackmore, and O. D. Dosser, J. Vac. Technol. 83, 1450 (1985); S. J. C. Irvine, J. Geiss, J. S. Gough, G. W. Blackmore, A. Royle, J. B. Mullin, N. G. Chew, and A. G. Cullis, J. Cryst. Growth 77, 437 (1986).

    CAS  Article  Google Scholar 

  93. 93

    W. J. Ahlgren, J. B. James, R. P. Ruth, E. A. Patten, and J. A. Stuedenmann, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 90, 405 (1987).

    CAS  Article  Google Scholar 

  94. 94

    D. L. Dreifres, R. M. Kolbas, R. L. Harper, J. R. Tassitino, S. Hwang, and J. F. Schetzina, Appl. Phys. Lett. 53, 1279 (1988).

    Article  Google Scholar 

  95. 95

    P. A. Maki and D. J. Ehrlich, Appl. Phys. Lett. 55, 91 (1989).

    CAS  Article  Google Scholar 

  96. 96

    L. Pfeiffer, J. M. Phillips, T. P. Smith, III, W. M. Augustoniak, and K. W. West, Appl. Phys. Lett. 46, 947 (1985); L. Pfeiffer, J. M. Phillips, K. E. Luther, K. W. West, J. L. Batstone, F. A. Stevie, and J. E. A. Maurits, Appl. Phys. Lett. 50, 466 (1987); N. Chaud, R. People, R. A. Baiocchi, K. W. Wecht, and A. Y. Cho, Appl. Phys. Lett. 49, 815 (1986).

    CAS  Article  Google Scholar 

  97. 97

    M. Cerullo, J. M. Phillips, M. Anzlowar, L. Pfeiffer, J. L. Batstone, and M. Galiano, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 102, 835 (1988).

    Google Scholar 

  98. 98

    E. Yablonovitch, T. J. Gmitter, J. P. Harbison, and R. Bhat, Appl. Phys. Lett. 51, 2222 (1987).

    CAS  Article  Google Scholar 

  99. 99

    D. R. Myers, J. F. Klem, and J. A. Lott, Tech. Digest of the 1988 Intl. Electr. Devices Meeting (IEEE Publ. Services, New York, 1989), p. 704.

    Google Scholar 

  100. 100

    L. Esaki and R. Tsu, IBM J. Res. Dev., 61 (1970).

  101. 101

    G. C. Osbourn, J. Appl. Phys. 53, 1586 (1982).

    CAS  Article  Google Scholar 

  102. 102

    R. M. Biefeld, J. Cryst. Growth 56, 382 (1982); R. M. Biefeld, G. C. Osbourn, P. L. Gourley, and I. J. Fritz, J. Electron. Mater. 12, 903 (1983).

    CAS  Article  Google Scholar 

  103. 103

    R. M. Biefeld, C. R. Hills, and S. R. Lee, J. Cryst. Growth 91, 515 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  104. 104

    B. W. Dodson, Appl. Phys. Lett. 53, 37 (1989).

    Article  Google Scholar 

  105. 105

    J. Cibert, P. M. Petroff, D. J. Werder, S. J. Pearson, A. C. Gossard, and J. H. English, Appl. Phys. Lett. 49, 223 (1986).

    CAS  Article  Google Scholar 

  106. 106

    K. S. Seo, P. K. Battacharia, G. P. Kothiyal, and S. Hong, Appl. Phys. Lett. 49, 15 (1986).

    Article  Google Scholar 

  107. 107

    F. K. LeGoues, S. S. Iyer, K. N. Tu, and S. L. DeLage, Multilayers: Synthesis, Properties and Non-Electronic Applications (MRS, Pittsburgh, PA, 1988), p. 185.

    Google Scholar 

  108. 108

    G. B. Stringfellow and P. E. Greene, J. Phys. Chem. Solids 30, 1779 (1969).

    CAS  Article  Google Scholar 

  109. 109

    M. B. Panish and M. Ilegems, Progress in Solid State Chemistry, edited by H. Reiss and J. O. McCaldin (Pergamon Press, Oxford, 1972), Vol. 7, p. 39.

  110. 110

    G. B. Stringfellow, J. Cryst. Growth 27, 21 (1974).

    CAS  Article  Google Scholar 

  111. 111

    J. C. Phillips and J. A. Van Vechten, Phys. Rev. 22, 70 (1969).

    Google Scholar 

  112. 112

    J. C. Phillips and J. A. Van Vechten, Phys. Rev. B2, 2147 (1970).

    Article  Google Scholar 

  113. 113

    G. B. Stringfellow, J. Cryst. Growth 68, 111 (1984).

    CAS  Article  Google Scholar 

  114. 114

    B. deCremoux, P. Hirtz, and J. Ricciardi, Inst. Phys. Conf. Ser. 56, 115 (1981).

    Google Scholar 

  115. 115

    M. J. Cherng, G. B. Stringfellow, and R. M. Cohen, Appl. Phys. Lett. 44, 677 (1984).

    CAS  Article  Google Scholar 

  116. 116

    G. B. Stringfellow, J. Electron. Mater. 11, 5 (1982).

    Google Scholar 

  117. 117

    G. P. Srivastava, J. L. Martins, and A. Zunger, Phys. Rev. B31, 2561 (1985).

    Article  Google Scholar 

  118. 118

    R. A. Swalin, Thermodynamics of Solids (John Wiley and Sons, New York, 1972).

    Google Scholar 

  119. 119

    W. Hume-Rothery, Electrons, Atoms, Metals, and Alloys (Dover, London, 1963), 3rd ed., Chap. 39. The first edition was published in 1948.

    Google Scholar 

  120. 120

    J. Murgatroyd, A. G. Norman, and G. R. Booker, Mater. Res. Soc. Spring Meeting, Palo Alto, CA, April 1986.

  121. 121

    Y. E. Ihm, N. Otsuka, J. Klem, and H. Morkoc, Appl. Phys. Lett. 51, 2013 (1987).

    CAS  Article  Google Scholar 

  122. 122

    H. R. Jen, K. Y. Ma, and G. B. Stringfellow, Appl. Phys. Lett. 54, 1154 (1989).

    CAS  Article  Google Scholar 

  123. 123

    H. R. Jen, D. S. Cao, and G. B. Stringfellow, Appl. Phys. Lett. 54, 1890 (1989).

    CAS  Article  Google Scholar 

  124. 124

    G. B. Stringfellow, in Proc. of US/Japan Seminar on Alloy Semiconductors, edited by G. B. Stringfellow and A. Sasaki (Elsevier, Amsterdam, 1989).

  125. 125

    T. Suzuki, A. Gomyo, and S. Iijima, J. Cryst. Growth 93, 396 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  126. 126

    J. C. Bean, T. T. Sheng, L. C. Feldman, A. T. Fiory, and R. T. Lynch, Appl. Phys. Lett. 44, 103 (1984).

    Article  Google Scholar 

  127. 127

    Y. Kohama, Y. Fukada, and M. Seki, Appl. Phys. Lett. 52, 380 (1988); D. J. Eaglesham, E. P. Kvam, D. M. Maher, C. J. Humphreys, G. S. Green, B. K. Tanner, and J. C. Bean, Appl. Phys. Lett. 53, 2083 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  128. 128

    R. Hull, J. C. Bean, and R. E. Leibenguth, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 116, 505 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  129. 129

    S. Froyen, S. M. Wood, and A. Zunger, Phys. Rev. B36, 4574 (1987).

    Google Scholar 

  130. 130

    T. P. Pearsall, J. C. Bean, R. Hull, and J. M. Bonar, Proc. of the 3rd Int. Symp. on Si Molecular Beam Epitaxy, Meeting of the European Materials Research Society, June 1989 (to be published).

  131. 131

    See, e.g., Proc. of the 2nd Int. Symp. on Silicon Molecular Beam Epitaxy, edited by J. C. Bean and L. J. Showalter (The Electrochemical Society, Pennington, NJ, 1988).

  132. 132

    D. V Derjaguin, B. V. Spitsyn, A. E. Goridetsky, A. P. Zakharov, L. L. Bouilov, and A. E. Sleksenko, J. Cryst. Growth 31, 44 (1975).

    Article  Google Scholar 

  133. 133

    M. Kamo, Y. Sato, S. Matsumoto, and N. Setaka, J. Cryst. Growth 62, 642 (1983).

    CAS  Article  Google Scholar 

  134. 134

    S. Matsumoto, Y. Sato, N. Kamo, and N. Setaka, Jpn. J. Appl. Phys. 21, L183 (1982).

    Article  Google Scholar 

  135. 135

    M. W. Geis, D. D. Rathman, J. J. Zayhowski, P. Smythe, D. K. Smith, and G. A. Ditmer, in Diamond and Diamond-Like Materials Synthesis, edited by G. H. Johnson, A. R. Badzian, and M. W. Geis (Materials Research Society, Pittsburgh, PA, 1988), p. 115.

  136. 136

    P. L. Gourley, T. M. Brennan, B. E. Hammons, S. W. Corzine, G. S. Geels, R. H. Yan, J. W. Scott, and L. A. Coldren, Appl. Phys. Lett. 54, 1209 (1989).

    CAS  Article  Google Scholar 

  137. 137

    P. L. Gourley, R. M. Biefeld, T. J. Drummond, and T. E. Zipperian, SPIE 792, Quantum Wells and Microstructures, 178 (1987).

    CAS  Google Scholar 

  138. 138

    J. L. Reno, P. L. Gourley, G. Montfroy, and J. P. Faurie, Appl. Phys. Lett. 53, 1747 (1989).

    Article  Google Scholar 

  139. 139

    H. Kroemer, J. Cryst. Growth 81, 193 (1987).

    CAS  Article  Google Scholar 

  140. 140

    R. J. Fischer, N. Chand, W. F. Kopp, H. Morkoc, L. P. Erickson, and P. Youngman, Appl. Phys. Lett. 47, 397 (1985).

    CAS  Article  Google Scholar 

  141. 141

    R. Hull, A. Fischer-Colbrie, S. J. Rosner, S. M. Koch, and J. S. Harris, Appl. Phys. Lett. 51, 1723 (1987).

    CAS  Article  Google Scholar 

  142. 142

    T. Sakamoto and G. Hashiguchi, Jpn. J. Appl. Phys. 25, L57 (1986).

    Article  Google Scholar 

  143. 143

    N. Lucas, H. Zabel, H. Morkoc, and H. Unlu, Appl. Phys. Lett. 52, 2117 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  144. 144

    Y. H. Lo, M. C. Wu, H. Lee, S. Wang, and Z. Lilienthal-Weber, Appl. Phys. Lett. 52, 1386 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  145. 145

    F. C. Frank and J. H. van der Merwe, Proc. R. Soc. London A198, 205 (1949); J.W. Matthews and A. E. Blakeslee, J. Cryst. Growth 27, 118 (1974).

    Google Scholar 

  146. 146

    T. Nishimura, K. Mizuguchi, N. Hayafuji, and T. Murotani, Jpn. J. Appl. Phys. 26, L1141 (1987).

    CAS  Article  Google Scholar 

  147. 147

    J. W. Lee, Proc. 1986 Int. Symp. on GaAs and Related Compounds, Inst. Phys. Conf. Ser. 83, 111 (1987).

    Google Scholar 

  148. 148

    D. E. Aspnes and J. Ihm, Phys. Rev. Lett. 57, 3054 (1986).

    CAS  Article  Google Scholar 

  149. 149

    J. E. Griffith, J. A. Kubby, P. E. Wierenga, and G. P. Kochanski, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 116, 105 (1988).

    Article  Google Scholar 

  150. 150

    S. J. Rosner, S. M. Koch, and J. S. Harris, Appl. Phys. Lett. 49, 1764 (1986).

    CAS  Article  Google Scholar 

  151. 151

    N. El-Masry, J. C. L. Tarn, T. P. Humphreys, N. Hamaguchi, N. H. Karem, and S. M. Bedair, Appl. Phys. Lett. 51, 1608 (1987); N. A. El-Masry, J. C. Tarn, and N. H. Karam, J. Appl. Phys. 64, 3672 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  152. 152

    J. W. Lee, J. Shichijo, H. L. Tsai, and R. J. Mayti, Appl. Phys. Lett. 5 0, 31 (1987).

    CAS  Article  Google Scholar 

  153. 153

    G. A. Prinz, Phys. Rev. Lett. 54, 1051 (1985); Y. U. Idzerda, W. T. Elam, B. T. Jonker, and G. A. Prinz, Phys. Rev. Lett. 62, 2480 (1989).

    CAS  Article  Google Scholar 

  154. 154

    A. Guivarc’h, R. Guerin, and M. Secoue, Electron. Lett. 23, 1004(1987).

    Article  Google Scholar 

  155. 155

    C. J. Palmstr0m, K. Garrison, B-O. Fimland, and J. P. Harbison, Electronic Materials Conference, Boulder, CO, June 22–24, 1988; C. J. Palmstrøm, K. Garrison, B-O. Fimland, T. Sands, and R. A. Bartynski, in Mater. Res. Soc. Symp. Proc. on Advances in Materials, Processing and Devices in III-V Compound Semiconductors, Boston, MA, November 28–December 1, 1988); T. Sands, J. P. Harbison, W. K. Chan, S. A. Schwarz, C. C. Chang, C. J. Palmstrøm, and V. G. Keramidas, Appl. Phys. Lett. 52, 1216 (1988).

  156. 156

    J. P. Harbison, T. Sands, N. Tabatabaie, W. K. Chan, L. T. Florez, and V. G. Keramidas, Appl. Phys. Lett. 53, 1717 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  157. 157

    N. Tabatabaie, T. Sands, J. P. Harbison, H.L. Gilchrist, and V. G. Keramidas, Appl. Phys. Lett. 53, 2528 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  158. 158

    C. J. Palmstrøm, N. Tabatabaie, and S. J. Allen, Jr., Appl. Phys. Lett. 53, 2608 (1988).

    Article  Google Scholar 

  159. 159

    S. Saitoh, H. Ishiwara, T. Asano, and S. Furukawa, Jpn. J. Appl. Phys. 20, 1649 (1981).

    CAS  Article  Google Scholar 

  160. 160

    R. T. Tung, J. M. Gibson, J. C. Bean, J. M. Poate, and D. C. Jacobson, Appl. Phys. Lett. 40, 684 (1982).

    CAS  Article  Google Scholar 

  161. 161

    Y. C. Kao, M. Tejwami, Y. H. Xie, T. L. Lin, and K. L. Wang, J. Vac. Sci. Technol. B3, 596 (1985).

    Article  Google Scholar 

  162. 162

    J. C. Bean and J. M. Poate, Appl. Phys. Lett. 37, 634 (1980).

    Article  Google Scholar 

  163. 163

    R. T. Tung, J. M. Gibson, and J. M. Poate, Appl. Phys. Lett. 42, 429 (1983).

    Article  Google Scholar 

  164. 164

    R.T. Tung, J. M. Gibson, and J. M. Poate, Appl. Phys. Lett. 42, 888 (1983).

    CAS  Article  Google Scholar 

  165. 165

    A. E. White, K. T. Short, R. C. Dynes, J. P. Garno, and J. M. Gibson, Appl. Phys. Lett. 50, 95 (1987).

    CAS  Article  Google Scholar 

  166. 166

    J. C. Barbour, S. T. Picraux, and B. L. Doyle, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 102, 371 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  167. 167

    S. M. Yalisove, R. T. Tung, and J. L. Batstone, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 116, 439 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  168. 168

    J. M. Gibson, J. L. Batstone, R. T. Tung, and F. C. Unterwald, Phys. Rev. Lett. 60, 1158 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  169. 169

    J. M. Gibson, J. L. Batstone, and R. T. Tung, Appl. Phys. Lett. 51, 45 (1987).

    CAS  Article  Google Scholar 

  170. 170

    J. M. Phillips, J. L. Batstone, J. C. Hensel, M. Cerullo, and F. C. Unterwald, J. Mater. Res. 4 (1), 144 (1989).

    CAS  Article  Google Scholar 

  171. 171

    R. T. Tung and J. L. Batstone, Appl. Phys. Lett. 52, 648 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  172. 172

    F. Hellman and R. T. Tung, Phys. Rev. B37, 10,786 (1988).

    Google Scholar 

  173. 173

    R. T. Tung and J. M. Gibson, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 67, 211 (1986) and references therein.

    CAS  Article  Google Scholar 

  174. 174

    Th. Flor, M. Schulz, and R. T. Tung, Appl. Phys. Lett. 51, 1343 (1987).

    Article  Google Scholar 

  175. 175

    H. Fujitani and S. Asano, J. Phys. Soc. Jpn. 57, 2253 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  176. 176

    G. P. Das, P. Blochl, N. E. Christensen, and O. K. Anderson, Metallization and Metal-Semiconductor Interfaces, edited by I. P. Batra (Plenum Press, New York, 1988).

  177. 177

    M. D. Stiles and D. R. Hamann, Phys. Rev. B40, 1349 (1989).

    Article  Google Scholar 

  178. 178

    J. C. Hensel, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 54, 499 (1986) and references therein.

    CAS  Article  Google Scholar 

  179. 179

    A. E. White and K. T. Short, Science 241, 930 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  180. 180

    J. Henz, M. Ospelt, and H. von Kanel, Proc. of the NATO Advanced Study Institute, Heterostructures on Si: One Step Further with Silicon (Kluwer, Dordrecht, The Netherlands, 1989), p. 215.

    Google Scholar 

  181. 181

    R. T. Tung and J. L. Batstone, Appl. Phys. Lett. 52, 1611 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  182. 182

    E. Rosenscher, S. Delage, Y. Campidelli, and F. Arnaud D’Avitaya, Electron. Lett. 20, 762 (1984).

    Article  Google Scholar 

  183. 183

    J. C. Hensel, A. J. F. Levi, R. T. Tung, and J. M. Gibson, Appl. Phys. Lett. 47, 151 (1985).

    CAS  Article  Google Scholar 

  184. 184

    E. Rosenscher, S. Delage, F. Arnaud D’Avitaya, C. D’Anterroches, K. Belhaddad, and J. Pfister, Physica 134B, 106 (1985).

    Google Scholar 

  185. 185

    R. T. Tung, A. J. F. Levi, and J. M. Gibson, Appl. Phys. Lett. 48, 635 (1986).

    CAS  Article  Google Scholar 

  186. 186

    A. J. F. Levi, R. T. Tung, J. L. Batstone, and M. Anzlowar, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 102, 361 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  187. 187

    L. F. Mattheiss and D. R. Hamann, Phys. Rev. B37, 10,623 (1988).

    Google Scholar 

  188. 188

    S. M. Yalisove, R. T. Tung, and D. Loretto, Extended Abstracts of the Symposium on Selected Topics in Electronic Materials, Fall 1988 Materials Research Society Meeting.

  189. 189

    M. Jalochowski and E. Bauer, Phys. Rev. B37, 8622 (1988); B38, 527 (1988).

    Article  Google Scholar 

  190. 190

    W. E. Spicer and R. Cao, Phys. Rev. Lett. 62, 605 (1989); K. Stiles and A. Kahn, Phys. Rev. Lett. 62, 606 (1989).

    CAS  Article  Google Scholar 

  191. 191

    S. M. Durbin, J. E. Cunningham, and C. P. Flynn, J. Phys. F 12, L75 (1982).

    CAS  Article  Google Scholar 

  192. 192

    J. Kwo, in Thin Film Growth Techniques for Low-Dimensional Structures, edited by R. F. C. Farrow, S. S. P. Parkin, P. J. Dobson, J. H. Neave, and A. S. Arrott (Plenum, New York, 1987).

  193. 193

    T. Miller, M. Mueller, and T-C. Chiang, Phys. Rev. (in press); see also T. Miller, A. Samsovas, G. E. Franklin, and T-C. Chiang, Phys. Rev. Lett. 61, 1404 (1988).

  194. 194

    R. W. Erwin, J. J. Rhyne, M. B. Salamon, J. Borchers, S. Sinha, R. Pu, J. E. Cunningham, and C. P. Flynn, Phys. Rev. B35, 6808 (1987).

    Article  Google Scholar 

  195. 195

    J.E. Cunningham and C. P. Flynn, J. Phys. F15, 6221 (1985).

    Google Scholar 

  196. 196

    A. Kueny, M. R. Kahn, I. K. Schuller, and M. Grimsditch, Phys. Rev. B29, 2879 (1986).

    Google Scholar 

  197. 197

    For an overview, see M. R. Beasley, in Percolation Localization in Superconductivity, edited by A. M. Goldman and S. A. Wolf, NATO ASI Series (Plenum, New York, 1984), Vol. B109.

  198. 198

    See, e.g., Proc. of the 1st Int. Symp. on Silicon Molecular Beam Epitaxy, edited by J. C. Bean (Electrochemical Society, Pennington, NJ, 1985); Proc. of the 2nd Int. Symp. on Silicon Molecular Beam Epitaxy, edited by J. C. Bean and L. J. Schowalter (Electrochemical Society, Pennington, NJ, 1988); P. M. Mankiewich, M. J. Craighead, T. R. Harrison, and A. G. Dagem, Appl. Phys. Lett. 44, 468 (1984).

  199. 199

    J. M. Phillips, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 71, 97 (1986).

    CAS  Article  Google Scholar 

  200. 200

    R. F. C. Farrow, S. Sinharoy, R. A. Hoffman, J. H. Reiger, W. J. Takei, J. C. Greggi, Jr., S. Wood, and T. A. Temofonte, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 37, 181 (1988).

    Google Scholar 

  201. 201

    Y. Nishibayashi, T. Imura, Y. Osaka, and H. Fukumoto, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 116, 363 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  202. 202

    M. Ishida, I. Katakabe, N. Ohtake, and T. Nakamura, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 116, 375 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  203. 203

    Y. Kado and Y. Arita, J. Appl. Phys. 61, 2398 (1987).

    CAS  Article  Google Scholar 

  204. 204

    K. Egami, M. Mikami, and H. Tsuya, Appl. Phys. Lett. 43, 757 (1983).

    CAS  Article  Google Scholar 

  205. 205

    L. Schowalter, R. W. Fathauer, R. P. Groehner, L. G. Turner, R. W. DeBlois, S. Hashimoto, J-L. Peng, W. M. Gibson, and J. P. Krusius, J. Appl. Phys. 58, 302 (1985).

    CAS  Article  Google Scholar 

  206. 206

    T. P. Smith, III, J. M. Phillips, W. M. Augustyniak, and P. J. Stiles, Appl. Phys. Lett. 45, 907 (1984).

    CAS  Article  Google Scholar 

  207. 207

    T. P. Smith, III, J. M. Phillips, R. People, W. M. Augustyniak, and K. W. Wecht, Appl. Phys. Lett. 46, 947 (1985).

    Article  Google Scholar 

  208. 208

    J. M. Phillips, N. E. Hecker, and M. Cerullo (unpublished research).

  209. 209

    H. Ishiwara and T. Asano, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 53, 129 (1985); H. Ishiwara (private communication).

    Article  Google Scholar 

  210. 210

    L. Pfeiffer, J. M. Phillips, T. P. Smith, III, W. M. Augustyniak, and K. W. West, Appl. Phys. Lett. 46, 947 (1985).

    CAS  Article  Google Scholar 

  211. 211

    J. M. Phillips, M. L. Manger, L. Pfeiffer, D. C. Joy, T. P. Smith, III, W. M. Augustyniak, and K. W. West, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 53, 155 (1986).

    CAS  Article  Google Scholar 

  212. 212

    J. L. Batstone, J. M. Phillips, and E. C. Hunke, Phys. Rev. Lett. 60, 1394 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  213. 213

    T. Asano, H. Ishiwara, and S. Furukawa, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 91, 337 (1987).

    CAS  Article  Google Scholar 

  214. 214

    H. Onoda, M. Sasake, T. Katoh, and N. Hirashita, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 91, 349 (1987).

    CAS  Article  Google Scholar 

  215. 215

    2I5. R. W. Fathauer, N. Lewis, E. L. Hall, and L. J. Schowalter, J. Appl. Phys. 60, 3886 (1986).

    CAS  Article  Google Scholar 

  216. 216

    T. Asano, H. Ishiwara, K. Orihara, and S. Furukawa, Jpn. J. Appl. Phys. 22, L118 (1983).

    Article  Google Scholar 

  217. 217

    T. Asano, Y. Kuriyama, and H. Ishiwara, Electron. Lett. 21, 386 (1985).

    CAS  Article  Google Scholar 

  218. 218

    T. Asano and H. Ishiwara, Jpn. J. Appl. Phys. 21, L630 (1983).

    Article  Google Scholar 

  219. 219

    H. Ishiwara and T. Asano, Jpn. J. Appl. Phys. 22, Supplement 22–1, 201 (1983).

    CAS  Article  Google Scholar 

  220. 220

    T. Asano, H. Ishiwara, H. C. Lee, K. Tsutsui, and S. Furukawa, Jpn. J. Appl. Phys. 25, L139 (1986).

    CAS  Article  Google Scholar 

  221. 221

    S. Hashimoto, L. J. Schowalter, G. A. Smith, E. Y. Lee, W. M. Gibson, and P. A. Claxton, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 116, 257 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  222. 222

    H. C. Lee, T. Asano, H. Ishiwara, and S. Furukawa, Jpn. J. Appl. Phys. 27, 1616 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  223. 223

    T. Asano, H. Ishiwara, and S. Furukawa, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 145 (in press).

  224. 224

    H. Zogg, W. Vogt, and H. Melchior, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 71, 87 (1986).

    CAS  Article  Google Scholar 

  225. 225

    S. Blunier, H. Zogg, and H. Wiebel, Appl. Phys. Lett. 53, 1512 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  226. 226

    C. Maissen, J. Masek, H. Zogg, and H. Blunier, Appl. Phys. Lett. 53, 1608 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  227. 227

    C. Fontaine, M. Berrabah, J. Nejjar, and A. Munoz-Yague, J. Cryst. Growth 81, 547 (1987) and references therein.

    CAS  Article  Google Scholar 

  228. 228

    C. W. Tu, S. R. Forrest, and W. D. Johnston, Jr., Appl. Phys. Lett. 42, 569 (1983).

    Article  Google Scholar 

  229. 229

    K. H. Kim, H. Ishiwara, T. Asano, and S. Furukawa, Jpn. J. Appl. Phys. 27, L2180 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  230. 230

    D. Rieger, F. J. Himpsel, U. O. Karlsson, F. R. McFeely, J. F. Morar, and J. A. Yarnoff, Phys. Rev. B34, 7295 (1986).

    Article  Google Scholar 

  231. 231

    J. M. Phillips and W. M. Augustyniak, Appl. Phys. Lett. 48, 463 (1986).

    CAS  Article  Google Scholar 

  232. 232

    R. W. Fathauer, B. D. Hunt, L. J. Schowalter, M. Okamoto, and S. Hashimoto, Appl. Phys. Lett. 49, 64 (1987).

    Article  Google Scholar 

  233. 233

    M-H. Yang and C. P. Flynn, Phys. Rev. Lett. 62, 2476 (1989).

    CAS  Article  Google Scholar 

  234. 234

    See, e.g., B. J. Stein and H. J. Meyer, J. Cryst. Growth 49, 696 (1980); R. B. Bjorklund and K. G. Spears, J. Chem. Phys. 66, 3448 and 3437 (1977); W. Laaser, H. Dabringhaus, and H. J. Meyer, J. Cryst. Growth 62, 248 (1983).

    CAS  Article  Google Scholar 

  235. 235

    J. E. Hove, Phys. Rev. 99, 430 (1955).

    CAS  Article  Google Scholar 

  236. 236

    See, e.g., DOE Panel Report on Clusters and Cluster-Assembled Materials, J. Mater. Res. 4 (3), 704 (1989).

  237. 237

    P. M. Petroff, A. C. Gossard, and W. Wiegmann, Appl. Phys. Lett. 45, 620 (1984).

    CAS  Article  Google Scholar 

  238. 238

    J. M. Gaines, P. M. Petroff, H. Kroemer, R. J. Simes, R. S. Geels, and J. H. English, J. Vac. Sci. Technol. B6, 1378 (1988).

    Article  Google Scholar 

  239. 239

    P. M. Petroff, J. M. Gaines, M. Tsuchiya, R. Simes, L. Coldren, H. Kroemer, J. English, and A. C. Gossard, J. Cryst. Growth 95, 260 (1989).

    CAS  Article  Google Scholar 

  240. 240

    Horikoshi, M. Kawashima, and H. Yamaguchi, Jpn. J. Appl. Phys. 27, 169 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  241. 241

    P. M. Petroff, J. Vac. Sci. Technol. 14, 1973 (1977).

    Article  Google Scholar 

  242. 242

    M. Tsuchiya, P. M. Petroff, and L. A. Coldren, Appl. Phys. Lett. 54, 1690 (1989).

    CAS  Article  Google Scholar 

  243. 243

    M. Tsuchiya, J. M. Gaines, R. H. Yan, R. J. Simes, P. O. Holtz, L. A. Coldren, and P. M. Petroff, Phys. Rev. Lett. 6, 466 (1989).

    Article  Google Scholar 

  244. 244

    P. M. Petroff (preprint).

  245. 245

    T. Fukui and S. Ando, Electron. Lett. 25, 410 (1989).

    Article  Google Scholar 

  246. 246

    E. Kapon, D. M. Hwang, and R. Bhat, Phys. Rev. Lett. 63, 430 (1989); E. Kapon, S. Simhony, D.M. Hwang, K. Kash, R. Bhat, and E. Colas, Proc. Conf. on Quantum Electronics and Laser Science, April 24–28, Baltimore, MD (1989), paper PD 15–1.

    CAS  Article  Google Scholar 

  247. 247

    H. Shichijo, R. J. Matyi, and A. H. Taddiken, IEEE Electron Dev. Lett. 9, 444 (1988).

    Article  Google Scholar 

  248. 248

    H. K. Choi, J. P. Mattia, G. W. Turner, and B. Y. Tsaur, IEEE Electron Dev. Lett. 9, 512 (1988); G. W. Turner, H. K. Choi, J. P. Mattia, C. L. Chen, S. J. Eglash, and B. Y. Tsaur, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 116, 179 (1988).

    Article  Google Scholar 

  249. 249

    R. J. Matyi, H. Shichijo, T. S. Kim, and H. L. Tsai, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 116, 105 (1988).

    CAS  Article  Google Scholar 

  250. 250

    L. C. Feldman and J. W. Mayer, Fundamentals of Surface and Thin Film Analysis (North Holland, Amsterdam, 1986).

    Google Scholar 

  251. 251

    W. K. Chu, J. W. Mayer, and M. A. Nicolet, Backscattering Spectrometry (Academic Press, New York, 1978).

    Google Scholar 

  252. 252

    C. C. Chang, in Characterization of Solid Surfaces, edited by P. F. Kane and G. R. Larrabee (Plenum Press, New York, 1974), Chap. 20.

  253. 253

    Methods of Surface Analysis, edited by A. W. Czanderna (Elsevier, Amsterdam, 1975).

  254. 254

    G. Ertl and J. Kuppers, Low Energy Electrons and Surface Chemistry (Verlag Chemie International, Weinheim, 1985).

    Google Scholar 

  255. 255

    P. K. Ghosh, Introduction to Photoelectron Spectroscopy (Wiley-Interscience Publishers, New York, 1983).

    Google Scholar 

  256. 256

    Handbook of X-Ray and Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy, edited by D. Briggs (Heydon and Son, London, 1978).

  257. 257

    D. Briggs and M. P. Seah, Practical Surface Analysis by Auger and X-Ray Photoelectron Spectroscopy (John Wiley and Sons, New York, 1983).

    Google Scholar 

  258. 258

    Photoemission in Solids I and II, Topics in Appl. Phys., edited by M. Cardona and L. Ley (Springer-Verlag, New York, 1978 and 1979), Vols. 26 and 27.

  259. 259

    T. A. Carlson, Photoelectron and Auger Spectroscopy (Plenum Press, New York, 1975).

    Google Scholar 

  260. 260

    R. B. Marcus and T. T. Sheng, Transmission Electron Microscopy of Silicon VLSI Circuits and Structures (Wiley-Interscience Publishers, New York, 1983).

    Google Scholar 

  261. 261

    L. E. Murr, Electron and Ion Microscopy and Microanalysis (Marcel Dekker, New York, 1982).

    Google Scholar 

  262. 262

    G. A. Somorjai, Chemistry in Two Dimensions: Surfaces (Cornell University Press, Ithaca, NY, 1981).

    Google Scholar 

  263. 263

    D. B. Williams, Practical Electron Microscopy in Materials Science (Verlag Chemie International, Weinheim, 1984).

    Google Scholar 

  264. 264

    Electron Spectroscopy: Theory, Techniques and Applications, edited by C. R. Brundle and A. D. Baker (Academic Press, New York, 1981).

  265. 265

    T. A. Carlson, Photoelectron and Auger Spectroscopy (Plenum Press, New York, 1975).

    Google Scholar 

  266. 266

    H. W. Werner, in Electron and Ion Spectroscopy of Solids, edited by L. Fiermans, J. Vennik, and W. Dekeyser (Plenum Press, New York, 1978).

  267. 267

    Hurst, Principles and Application of Resonance Ionization Spectroscopy (Taylor and Francis, London, 1988).

    Google Scholar 

  268. 268

    M. Landolt and D. Mauri, Phys. Rev. Lett. 49, 1783 (1982).

    CAS  Article  Google Scholar 

  269. 269

    M. A. van Hove, W. H. Weinberg, and C-M. Chen, Low Energy Electron Diffraction (Springer, Berlin, 1986).

    Google Scholar 

  270. 270

    E. Bauer and W. Telieps, Scanning Microscopy, Suppl. 1 (1987) 99 (Scanning Microscopy Intern. Chicago); in Surface and Interface Characterization by Electron and Optical Methods, edited by A. Howie and U. Valdie (Plenum Press, New York, 1988), p. 195.

  271. 271

    G. Bennig, H. Rohrer, C. Gerber, and E. Weibel, Phys. Rev. Lett. 49, 57 (1982); P. K. Hansma and J. Tersoff, J. Appl. Phys. 61, R1 (1987).

    Article  Google Scholar 

  272. 272

    M. J. Pellin, C. E. Young, W. F. Calaway, and D. M. Gruen, Nucl. Instrum. Methods B13, 653 (1986); F. Kimock, J. P. Baxter, D. L. Pappas, P. H. Kobring, and N. Winograd, Analytical Chemistry (1984).

    CAS  Article  Google Scholar 

  273. 273

    J. Kessler, Polarized Electrons (Springer-Verlag, Berlin, 1976); J. Kirschner, Polarized Electrons at Surfaces (Springer-Verlag, Berlin, 1985).

    Google Scholar 

  274. 274

    J. M. Cowley, in Reflection High Energy Electron Diffraction and Reflection Electron Imaging of Surfaces, edited by P. K. Larsen and P. J. Dobson (Plenum Press, New York, 1988), p. 261.

  275. 275

    K. Yagi, S. Ogawa, and Y. Tanishiro, ibid., p. 285.

  276. 276

    M. Ichikawa and T. Doi, ibid., p. 343.

  277. 277

    P. H. Fuoss, D.W. Kisker, G. Renaud, K. L. Tokuda, S. Brennan, and J. L. Kahn, Phys. Rev. Lett. 63, 2389 (1989).

    CAS  Article  Google Scholar 

  278. 278

    D. E. Aspnes, J. P. Harbison, A. A. Studna, and L. T. Florez, Phys. Rev. Lett. 59, 1687 (1987); D.E. Aspnes, J. P. Harbison, A. A. Studna, and L.T. Florez, J. Vac. Sci. Technol. A6, 1327 (1987); D. E. Aspnes, R. Bhat, E. Codas, L. T. Florez, J. P. Harbison, M. K. Kelly, V. G. Keramidas, M. A. Koza, and A. A. Studna, SPIE Proc. 1037, 2 (1989).

    CAS  Article  Google Scholar 

  279. 279

    J. Y. Tsao, T. E. Brennan, and B. E. Hammons, Appl. Phys. Lett. 53, 288 (1988); J. Y. Tsao, T. M. Brennan, and B. E. Hammons, J. Vac. Sci. Technol. (in press).

    CAS  Article  Google Scholar 

Download references

Author information

Affiliations

Authors

Corresponding author

Correspondence to Ernst G. Bauer.

Rights and permissions

Reprints and Permissions

About this article

Cite this article

Bauer, E.G., Dodson, B.W., Ehrlich, D.J. et al. Fundamental issues in heteroepitaxy—A Department of Energy, Council on Materials Science Panel Report. Journal of Materials Research 5, 85 (1990). https://doi.org/10.1557/JMR.1990.0852

Download citation